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摘要 UA-7nb Tlsa%pn 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 1FERmf? ?d Pe ~c
]<trA$ 0 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) pJ^NA2 xeA#u
J 建模任务 :tj-gDa\Y SvuTc!$?
&M[f&_"8Q T*>`,}J 单次FMM仿真结果 wL{qD Uems\I0
;L"!I3dM) @WOM#Kc 参数扫描(1D) zG9|K [EZYsOr.
9F##F-%x ]z == 参数扫描(2D) h*l&RR:i 6|;Uq' =$^MQ\S0p kfrY1 文件信息 ^vni&sJ m&Y i!7@(
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