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摘要 K!2%8Ej,J F[)tg#}@G 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 # $'H?lO TQ%F\@" uU-1;m#N? 8.7lc2aX 设计任务 r029E- ZqjLZ9?q
S/l6c P Ka%#RNW 仅位相透射设计(IFTA) M7-2;MZ 5dbj{r)s6i
!-&;t7R 5{v uN)K3 仅位相透射设计(IFTA) ^oClf( P{: 5i%qC
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q0NToVo@ P.mlk>r VirtualLab Fusion的工作流程 6` Aw!&{ 分析超表面晶胞 cIrc@ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] dfZ`M^NU 构造超光栅 e{*yV#Wl 分析光栅衍射效率 wti - 光栅级次分析 [用例] y!
QYdf? 光栅结构参数优化 JC;&]S. n9-WZsc1
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%lx[9Ye VirtualLab Fusion技术 Zq5~M bldh )CgH|z:=b
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