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摘要 v,\93mNp[
r"]Oe$[# 与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 /s-d? -~'k P /E^  $Z7:#cZ Y
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 YnxU(v'\ ork|yj/A 仅位相透射设计（IFTA） x=3I)}J(kn
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 9R:(^8P8 hE5G!@1F 超表面晶胞分析 2e\Kw+(>{
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 k#-[ M.i bF7`] 83 优化超光栅设计的评估 wISzT^RS
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 .1%i`+uZ cG5$l B VirtualLab Fusion的工作流程 X[Y #+z4 分析超表面晶胞 2O^32TdS - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] 3 dY6;/s 构造超光栅 1(D1}fcul 分析光栅衍射效率 L;kyAX@^ - 光栅级次分析 [用例] E'fX&[ 光栅结构参数优化 r6<ArX$Yl
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 M`q#,Y?3^I " %Lmgy:~ VirtualLab Fusion技术 OHQ3+WJ )8\Z=uC  X ^9t kv[OW"8t 文件信息 EsS!07fAM: Yr Preuh p$&_f zb 
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