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摘要 o;mIu#u D2p6&HNT 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 O m )'~FDw\6 L'Zud,JKg v~Qy{dn
P 设计任务 mW-W7-JhO7 E2IV R]C2^
M<unQ1+wh G{.+D2 仅位相透射设计(IFTA) t]
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GJs[m~`8# fJ2{w[ne 超表面晶胞分析 [r8 d+ sV[Z|$&Z
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j :Jdwf ?{,)XFck VirtualLab Fusion的工作流程 jjT2k 分析超表面晶胞 dG>Wu o - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] OCO,-( 构造超光栅 [e@OHQM 分析光栅衍射效率 +1jqCW - 光栅级次分析 [用例] h$ iyclX 光栅结构参数优化 _8pkejg ;To+,`?E;q
1=5'R/k dzNaow*0&V VirtualLab Fusion技术 Rn(F#tI zw0 r
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