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摘要 2^\67@9
tcm?qro) 与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 W'B=H1 g<@P_^vo  hS?pc<~` #
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sp/l-a VirtualLab Fusion的工作流程 + # 38 分析超表面晶胞 o~_ wx - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] cEP!DUo 构造超光栅 a/n KKhXaM 分析光栅衍射效率 0L
^WTq - 光栅级次分析 [用例] 5yh:P3 / 光栅结构参数优化 tfSY(cXg'T
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