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摘要 [nV BnB
^ fC2o%3^ 与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 FNLS=4 l59\Lo:  }W 5ks-L6
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分析光栅衍射效率 NvIg,@} - 光栅级次分析 [用例] /f?;,CyI 光栅结构参数优化 \9p.I?=
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