切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 双11活动：领红包、购物券啦！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 221阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7305
    光币
    30666
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-08
    摘要 %]p6Kn/>  
     9j*0D("  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 nU`Lhh8y  
    BKU'`5`  
     #pdUJ2)yM  
    Mp\<cE  
    建模任务 }%{MPqg  
    1px\K8  
     ^;F{)bmu+)  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) A<YsfDa_d  
     y|_Eu:  
    某一位置的Talbot图样 NE|[o0On  
    o/^;@5\  
     !p 8psi0  
       =7 ,Kf} 6  
    某一位置的Talbot图样 #G3N(wV3  
    |dadH7  
     A[UP"P~u/  
    j?n+>/sG,  
    不同位置的Talbot图样 YnV/M,U  
    3}&ZOO   
     &S74mV  
    A~lIa$U$b  
    不同位置的Talbot图样 n"aCt%v  
    BQ05`nkF  
     qX>Q+_^  
    6!EYrX}rI[  
    沿Z轴的强度 =?0QqCjK)  
    dYOF2si~%  
     i+M*J#'  
    F}ukZ DB  
    走进VirtualLab Fusion  YRB%:D@u  
    'zgvQMu  
     |Svk^mq  
    w.kCBDL  
    VirtualLab Fusion的工作流程 2f:Mm'XdB  
    )wf\F6jN  
     构建光栅结构 |LYKc.xo  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Ae|P"^kZ  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] WBppKj_M  
    !eD+GDgE]  
     通过参数运行计算不同位置的强度 @eQld\h'  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ,9/5T:2  
    Q2~5"  
    vrrt@y  
    ged,>  
    VirtualLab Fusion技术 Di??Q_$ak  
    |ViU4&d*  
     c>Z*/>~  
       a20w,  
    文件信息 K=kH%ZK  
    Ge}$rLu]0  
     -gKpL\  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表