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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 56分钟前
    摘要 S<+/Ep 2  
     b<N962 q$q  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Gl+Ql?|  
    iHp@R-g  
     svBT~P0x  
    qBkI9H  
    建模任务 ]I|3v]6qR  
    [^U#ic>cT  
     ~BSE8M+r  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) y].vll8R  
     Ckelr  
    某一位置的Talbot图样 ylEQeN  
    0%9Nf!j  
     wGXnS"L!  
       @y#QHJ.j  
    某一位置的Talbot图样 2`-yzm  
    \U1fUrw$*  
     :-I~-Yj  
    x@@U&.1_A  
    不同位置的Talbot图样 PhS`,I^Z  
    D9#?l <D  
     /Ww_fY  
    jf_0IE  
    不同位置的Talbot图样 ~m]sJpW<"  
    s?.A $^t  
     *=-o0c  
    ~"Pu6-\VT  
    沿Z轴的强度 x}w"2[fL  
    D~;hIt*  
     \Lz2"JI  
    2hjR'6h"Y  
    走进VirtualLab Fusion P&ig.Og*  
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     S<hj6A  
    ]aqHk  
    VirtualLab Fusion的工作流程 <By6%<JTn  
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     构建光栅结构 <eObQ[mQ  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] +&W%]KEh  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] kH!I&4d&  
    _L6WbRu|  
     通过参数运行计算不同位置的强度 reyN5n~4U  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 8-N8v *0  
    nt/+?Sj  
    `Z3Qx~f x  
    d2Z kchf  
    VirtualLab Fusion技术 h\ (z!7t*  
    {[~ !6&2(k  
     ?G5JAG`  
       G;n'c7BV  
    文件信息 ~zklrBn&  
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