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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2小时前
    摘要 !mlfG "FE  
     4 Ej->T.  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 /wJ#-DZ  
    ;'S,JGpvT  
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    ZNBowZI  
    建模任务 v"k ? e  
    cq I $9  
     aopPv&jY  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) \s)MN s  
     w-K A~  
    某一位置的Talbot图样 +``vnC  
    |T<aWZb^=  
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    某一位置的Talbot图样 cY5&1Shb~  
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    ]o] VS  
    不同位置的Talbot图样 /8l-@P. o  
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    不同位置的Talbot图样 ~J].~^[  
    2.^{4 1:  
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    _Raf7W  
    沿Z轴的强度 v`|]57?A  
    1/-3m Po  
     YS|Dw'%g /  
    Y<T0yl?  
    走进VirtualLab Fusion p/Ul[7A4e  
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     ]+I9{%zB%8  
    p"0#G&-  
    VirtualLab Fusion的工作流程 |=q~X}DA  
    }; '@'   
     构建光栅结构 DtANb^  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] s{^B98d+W  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 9Q9{>d#"  
    g (w/  
     通过参数运行计算不同位置的强度 J 1w[gf]J  
    - 参数运行文件的使用 [用例] XUP{]w`.Z  
    }c8nn  
    m"!SyN}&9?  
    $@Vn+| Ix  
    VirtualLab Fusion技术 V|YQhd0kv  
    [5&k{*}}  
     EDnNS  
       Au2?f~#Fv  
    文件信息 m7k }k)  
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