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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-08
    摘要 BL,YJM(y  
     ~M,nCG^4  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 N CX!ss  
    hA)3Ah*  
     N2=gSEY  
    [WC-EDO2lb  
    建模任务 \)`\F$CF  
    SIzW3y[  
     V=.lpj9m  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) k45xtKS>d  
     t$rWE|+_z  
    某一位置的Talbot图样 L 'H1\' o  
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    某一位置的Talbot图样 prhFA3 rW.  
    A]ciox$AjW  
     ]D%D:>9|/  
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    不同位置的Talbot图样 xOPSw|!w  
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    不同位置的Talbot图样 cfa#a!Y4  
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    沿Z轴的强度 }=;N3Q" #y  
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    走进VirtualLab Fusion NNb17=q_v  
    +TA(crD  
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    k7f[aM5]  
    VirtualLab Fusion的工作流程 qdvGBdF  
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     构建光栅结构 Fu!:8Wp!(  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 5{[3I|m{  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Vr`UF0_3q  
    (a@cK,  
     通过参数运行计算不同位置的强度 c[@>#7p`o  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 6D _4o&N  
    SQWA{f  
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    VirtualLab Fusion技术 o!wz:|\S  
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     R-bICGSE  
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    文件信息 A\.k['!  
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