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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 前天 13:32
    摘要 q+>J'UGb  
     yQ?N*'}$  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 c^S^"M|  
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     [ Lt1OdGl  
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    建模任务 qsk8#  
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     I2hX;pk,  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) >:!TfuU^R  
     W'hE,  
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    沿Z轴的强度 UKMr,{iy  
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    走进VirtualLab Fusion PXof-W  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 t<mT=(zt*  
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    =Bo(*%  
    ^Lr)STh  
    VirtualLab Fusion技术 (dn(:<_$  
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