切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 43阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7180
    光币
    30041
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 3小时前
    摘要 0tT(W^ho g  
     BHU6t<G  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 gc-@"wI?  
    {Tq_7,8  
     -z)n?(pftm  
    Y[}>CYO  
    建模任务 Ch <[l8;K  
    I 8`VNA&b  
     1W^t aJH]  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^:^9l1]  
     nrub*BuA  
    某一位置的Talbot图样 e> e}vZlX  
    $_"'&zQ'  
     )rn*iJ.e8  
       FWrX3i  
    某一位置的Talbot图样 K* LlW@  
    <Tzrj1"Q3  
     N8F~8lTi  
    96( v  
    不同位置的Talbot图样 .WA-&b_  
    I9_RlAd  
     s >7}zU]  
    gmw|H?]  
    不同位置的Talbot图样 ]%@M>?Ywc  
    *\+\5pu0  
     Yvw(t j5_5  
    EE&K0<?T|:  
    沿Z轴的强度 jnO9j_CY  
    {6|38$Rl  
     KX,S  
    *2p t%eav  
    走进VirtualLab Fusion =_JjmTy;a  
    >E;uU[v)I  
     V_ :1EBzz  
    p& y<I6a,  
    VirtualLab Fusion的工作流程 81? hY4  
    FH?U(-  
     构建光栅结构 DE}K~}sbd  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Xix L  R  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] x nsLf?>]  
    dk[!V1x4\  
     通过参数运行计算不同位置的强度 k:t ]s_`<  
    - 参数运行文件的使用 [用例] n9W(bG o  
    V,lOt4b  
    ~7*.6YnI  
    KKj a/p  
    VirtualLab Fusion技术 \ub7`01  
    {f/~1G[M  
     SA&Rep^  
       h5*JkRm  
    文件信息 !"?#6-,Xn  
    !#], hok8X  
     vOn`/5-  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表