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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-08
    摘要 wUCxa>h'  
     IANSpWea?  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Q"qI'*Kgt  
    q_.fVn:!  
     JnsJ]_<  
    &kIeW;X  
    建模任务 t>cGfA  
    A! bG2{r  
     )k,n}  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) z;S-Q,  
     5&n{QE?Um  
    某一位置的Talbot图样 v,ssv{gU  
    "9s_[e  
     [oTe8^@[  
       d>hv-n D  
    某一位置的Talbot图样 2DCQ5XewYe  
    4MS<t FH)  
     [HQ)4xG  
    mF*x&^ie  
    不同位置的Talbot图样 S\TXx79PhC  
    w2nReB z  
     k|)fl l  
    ]X>yZec  
    不同位置的Talbot图样 G7CeWfS  
    )SmnLvL  
     /g<Oh{o8  
    cFL~< [>_  
    沿Z轴的强度 _!',%  +  
    _HUbE /  
     +Dy^4p?o  
    5Ml=<^  
    走进VirtualLab Fusion J3_aHI  
    !?>V^#c  
     O]u'7nO{{  
    y'_8b=*  
    VirtualLab Fusion的工作流程 OjUPvR2 0  
    X 0y$xC|<  
     构建光栅结构 lME>U_E  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ~gfR1SE  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] aas.-N T  
    xR1G  
     通过参数运行计算不同位置的强度 sasurR|;  
    - 参数运行文件的使用 [用例] @gI1:-chB  
    {6'X z  
    o <q*3L5  
    }g}Eh>U  
    VirtualLab Fusion技术 H -kX-7C  
    w"^h<]b  
     &N7ji  
       X06Lr!-%  
    文件信息 TLdlPBnr8  
    3"y 6|e/5  
     jo`ZuN{  
     
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