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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-08
    摘要 k1i*1Tc  
     L)&?$V  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 5c($3Pno=  
    Dg%zNi2GS  
     {uh]b (}s)  
    (p26TN;*$5  
    建模任务 KG)7hja<6g  
    rBa <s  
     p{xO+Nx1a  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ==`K$rM  
     1BwCJ7?8  
    某一位置的Talbot图样 +b1(sk=4z  
    ~{iBm"4  
     &10vdAnBRC  
       1i4KZ"A5+  
    某一位置的Talbot图样 sy+1xnz  
    3]WIN_h  
     ]S<eO6z  
    Brr{iBz*"  
    不同位置的Talbot图样 ZXljCiNn+\  
    ^%-$8sV  
     VI0^Zq!6R  
    |4aV~n[>#  
    不同位置的Talbot图样 ;X-~C.7k  
    N[d*_KN.!  
     p;`jmF   
    lHv;C*(_=  
    沿Z轴的强度 N~ _GJw@  
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     5s_7 P"&H  
    E ;65kZ  
    走进VirtualLab Fusion $UavM|  
    t%ye :  
     Ac'[(  
    @'j=oTT  
    VirtualLab Fusion的工作流程 DZ5%-  
    I>o+INb:  
     构建光栅结构 ]#P9.c_}  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] (xpj?zlmM  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] K@Q_q/(%;  
    )(~4fA5j)  
     通过参数运行计算不同位置的强度 mv|eEz)r  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Wz}RJC7p  
    rCi7q]_  
    _ fha9`  
    Er^ijh,  
    VirtualLab Fusion技术 0ohpJh61Q  
    Pf;'eOdp  
     ]4-lrI1#  
       MKLntX  
    文件信息 E</Um M+ R  
    Hq[d!qc  
     IJ2]2FI  
     
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