1. 摘要 @&:VKpu\
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 ,kE=TR.| \dNhzd# 2. 建模任务 h6FgS9H :0dfB&7 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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44Qk;8* 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
~^7 *R!]47Y d 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) s"rg_FoL
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9RcM$[~ rIPl6,w~ 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) |UZOAGiBg
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65"uD7; &?}1AQAYg 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) nk>8SW^
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C,='3^Nc M\jB)@) 6. 3D仿真与结果对比 $P_x v
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r4S=I 7. 走进VirtualLab Fusion N4+g("
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>DS}#'N4l HYFN?~G 8. VirtualLab Fusion的工作流程 #rq?f
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构造光栅结构 -PXoMZx%
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 5])8qb/F
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] My0!=4Any
计算光栅结构内部的场分布 mc~`
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q@w"yz> 6*V8k%H 9. VirtualLab Fusion技术 ( w5f(4 -Fa98nV.WB ,-!2 5G
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