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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 3小时前
    1. 摘要 @&:VKpu\  
    i<:p.ug-O  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    ,kE=TR.|  
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    2. 建模任务 h6FgS9H  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    cs5ix"1A  
    44Qk;8*  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    *R!]47Y d  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) s"rg_FoL  
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    9RcM$[~  
       rIPl6,w~  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) |UZOAGiBg  
    ^je528%H  
    6 5"uD7;  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) nk>8SW^  
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    M\jB)@)  
    6. 3D仿真与结果对比 $P_x v  
    LO}z)j~W  
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    r4S=I   
    7. 走进VirtualLab Fusion N4+g("  
    R}.3|0  
    >DS}#'N4l  
    HYFN?~G  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 #rq?f  
    _M&{^d  
    2@5A&b  
     构造光栅结构 -PXoMZx%  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 5])8qb/F  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] My0!=4Any  
     计算光栅结构内部的场分布  mc~`  
    "$Y(NFb  
    q@w"yz>  
    6*V8k%H  
    9. VirtualLab Fusion技术 ( w5f(4  
    -Fa98nV.WB  
    ,-!2 5G  
    8LeK wb  
    10. 文件信息 x36NL^  
    ofl'G]/$+  
    @%%bRY  
     
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