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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-31
    1. 摘要 1|;WaO1Q  
    W$EX6jTGI  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       8hQ"rrj+  
    g"2@E  
    2. 建模任务 |O+R%'z'<  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ~NpnRIt  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) PX?tD:,[-  
    -hQ=0h~\B.  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) OA%.>^yb@  
    klT6?'S  
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    6. 3D仿真与结果对比 bkmX@+Pe  
    q1r\ 60M  
     `gfK#0x#  
    4yQ4lU,r  
    7. 走进VirtualLab Fusion j[iJo 5  
    K._1sOw'"Y  
     Z6K9E=%)c  
    SK;f#quUQ  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 49/1#^T"Q>  
    zL OmtZ(['  
    LMsbTF@E  
     构造光栅结构 Y +HVn0~qz  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] "N4c>2Q  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]  P/nXY  
     计算光栅结构内部的场分布 aR}NAL_`w  
    DMfC(w.d  
     J#Bz )WmR  
    LFen!FnM  
    9. VirtualLab Fusion技术 YX^{lD1Jj  
    fkRb;aIl  
     vFl|  
    ZJy D/9y  
    10. 文件信息 lba*&j]w=  
    ; wW6x  
     Y]Su<t gX?  
     
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