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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 08-31
    1. 摘要 d<7b<f"~  
    Pgr2 S I  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       B223W_0"o  
    @@H_3!B%4v  
    2. 建模任务 7-K8u  
    8C@u+tx  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    H%@f ^  
    P-Y_$Nv0g  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    7j\^h2  
    ?I6rW JcQ6  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) "jum*<QZz  
    = 0d|F 8  
     #j~FlY5  
       ZQE1]ht  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =|z:wlOs  
    y<Q"]H.CkQ  
     H9(?yI@Zr#  
    V'j+)!w5  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \s&Mz;:  
    t|>zke!'  
     f"FFgQMkv  
    /%&  d:  
    6. 3D仿真与结果对比 ?Tc#[B  
    (0NffM1  
     losqc *|  
    I@KM2 KMN  
    7. 走进VirtualLab Fusion ,XO@ZBOM  
    XG.[C>  
     rpR yB9  
    X!Z)V)@J8  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 Rsfb?${0G  
    %, psUOY  
    G(a5@9F  
     构造光栅结构 nXRa_M(z8  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] =8T!ldVxES  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] e%JIqKS  
     计算光栅结构内部的场分布 9Y,JYc#  
    NbU`_^oC  
     cuQ!"iH  
    U9:)qvMXe  
    9. VirtualLab Fusion技术 y8~OkdlN#  
    M(I%y0  
    4$KDf;m@  
    ]#]Z]9w  
    10. 文件信息 Dds-;9  
    wN!\$i@E:  
     V6][*.i!9  
     
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