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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 5小时前
    1. 摘要 y *i&p4Y*  
    ~R!1{8HP  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    *r`=hNr  
    QHk\Z  
    2. 建模任务 #aP#r4$  
    }\"EI<$s  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    Y [`+7w  
    o^"+X7)  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    Ma^jy.  
    $p0nq&4c  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) uAO!fE}CJ  
    YJJ1N/Z1  
    Q]k< Y  
       N"S`9B1eD(  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) %~LY'cfPse  
    j_8 YFz5  
    f@OH~4FG  
    H5K Fm#  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Nm*(?1  
    uC'-: t#  
    gQ+]N*.  
    jRK}H*uem  
    6. 3D仿真与结果对比 c+:ZmrP/  
    Q dj(D\.  
    #"gt&t9Q  
    E2e"A I.h  
    7. 走进VirtualLab Fusion dfDjOZSL  
    VeA@HC`?"  
    @ st>#]i4  
    S,&LH-ps   
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 h,{m{Xh  
    [EAOk=X  
    =^9h z3 j  
     构造光栅结构 22l'kvo4"  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] /JD}b[J$  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] |L<JOQ  
     计算光栅结构内部的场分布 EmNVQ1w  
    PucNu8   
    _}l(i1o,/  
    +b|F_  
    9. VirtualLab Fusion技术 ;d?BVe?  
    'P.y?  
    c1H.v^Y5  
    o|xf2k  
    10. 文件信息 ,1]UOQ>AP  
    =E-x0sr?  
    d^v#x[1msZ  
     
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