[求助]求助：如何预防蒸发镀膜的缺陷产生以及解决？ [复制链接]

我这用的是西沃克的1350机台，腔体包食品级锡纸，热阻蒸发单层ZNS-1300nm,有考夫曼离子源辅助镀膜600nm。 YKs^%GO+  
W[jW;uk  
做完之后通过显微镜观察，发现有这种缺陷。 _^ CQ*+F  
]XpU'/h>q;  
然后我们把蒸发速率降低到6A/S，发现这种缺陷数量降低了一半。但还是存在； 5W:Gl?$S}  
;ZE<6;#3IP  
我们对这种缺陷进行了EDS分析发现基本没有ZNS，颜色是高度差形成的色彩。 8`rAE_n`%  
Kc-A-P &Ry  
目前产品还是有这种缺陷，就想请教一下各位前辈，这种缺陷的产生是什么原因，有没有办法能够避免掉这种产生。 bSeL"   
b& _i/n(  
mTb2d?NS  
FzsS~C$wH{