[求助]求助：如何预防蒸发镀膜的缺陷产生以及解决？ [复制链接]

我这用的是西沃克的1350机台，腔体包食品级锡纸，热阻蒸发单层ZNS-1300nm,有考夫曼离子源辅助镀膜600nm。 ]l(wg]  
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做完之后通过显微镜观察，发现有这种缺陷。 Y&^P"Dw  
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然后我们把蒸发速率降低到6A/S，发现这种缺陷数量降低了一半。但还是存在； ;_(PVo  
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我们对这种缺陷进行了EDS分析发现基本没有ZNS，颜色是高度差形成的色彩。
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目前产品还是有这种缺陷，就想请教一下各位前辈，这种缺陷的产生是什么原因，有没有办法能够避免掉这种产生。 Dr~=o%  
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