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摘要 FR"yGx#$ E%@,n9T~" 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wl|cipy" 6c>cq\~ E  f_2tMiy 5 XUTI0 设计任务 dF$a52LS |3j'HN5S  =|_:H $94 /UtCJMQ 光栅光学装置 f"My;K $l; //T1e7)  Qk 2^p^ T6 nQbF~ 偏振分析器 jYE<d&Cq GG@GjP<_  U\dq
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关于光栅周期选择的考虑 lAYyx G# Z{&dzc
Ne>yFl"u O)v?GQRj 偏振相关衍射特性 -!w({rP }e[;~g\ &  wNQhz.>y phk fPvL{ 偏振相关衍射特性 R)}ab{A }_,1i3Rip
 4R<bf Z43 pHO,][VZ 偏振相关衍射特性 J4Yu|E<& Y'n+, g  H$G`e'`OZ vxN,oa {hf 固定周期二维参数优化 ?4QX;s7 S: b-+w|*  "}/$ xOl" 二维参数优化——设计#1 Ky:y1\K1^K ~%.<rc0  @ ={Hx$zL xc f`i:\ 二维参数优化——设计#2 _o,Mji| O 4Z_v%2 M  y+jOk6)W75 qpjG_G5/ 制造公差分析 O:G5n 5 J e#{,M8  J%9)&a W jEa U; 变光栅周期三维参数优化 TDqH"q 0 qhE1
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 mT:Z!sS YoU|)6Of 制造公差分析 3Ql77?&k VgBZ@*z(x  ON( )2@Y4 ^*-6PV# Z VirtualLab Fusion 技术 LN!e_b IXA3G7$)  L'A>IBrz %]U' 文件信息 -9f+O^x *PSUB{i(
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