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摘要 5&V=$]t nuXL{ tg6 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 XzHR^^;u"* p,goY F??  Jsysk $R Q-n8~Ey1a 设计任务 D]]wJQU2 Ic9L@2m  %'yrI R {d'-1 z"q 光栅光学装置 \ 3$!) z eHuJFM  !Aw^X} C mK[Z#obc= 偏振分析器 W n'a' #cu{AdK  =FrB{E u G{3 |d/;Bt 优化 kFv*>>X` Q$c6l[(g  NO o? }/F$ 73Xd 参数运行 (?fU l$q\ /ce;-3+
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 b=,B Le\ `tk oS 偏振相关衍射特性 c*;oR$VW Mu\V3`j  ?woL17Gt D&G6^ME 固定周期二维参数优化 Vu:ZG*^ !l (Vk  s bW+vc 二维参数优化——设计#1 ';t lV
u ?zW'Hi  nTeA= 0 4 jHFjd' 二维参数优化——设计#2 >jW **F &C9IR,&  B\J[O5}, Kh]es,$D 制造公差分析 UP-eKK'z ]9oj,k  /5NWV#- :Y99L)+ =/ 变光栅周期三维参数优化 JW
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