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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 +U(m b  
     :les 3T}2  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 MQR@(>TZy  
     i,=CnZCh  
    7o$4ov;T  
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    建模任务 33O@jb s@  
    u!([m; x|  
    :Mss"L820  
    3|/<Pk  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) W/O&(t  
    * i[^-  
    系统建模块 $ ]/a/!d  
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    特定位置的Talbot图案 z}'*zB>  
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    $7{V+>  
    特定位置的Talbot图案 VWoxi$3v  
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    不同位置的Talbot图案 Lh~Ym<CeN  
    UE4zmIq  
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    不同位置的Talbot图案 X!0s__IOc  
    A*I mruV  
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    EM+_c)d}  
    沿 Z 轴的强度 ~Tv %6iaeE  
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    GI}h )T  
    VirtualLab Fusion技术 pQaP9Y{OK  
    ,*fvA?  
     <$s G]l!\  
       1]r+$L3  
    文件信息 p&=F:-  
    dA<PQKm  
     36D-J)-Z  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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