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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 KA {Y*m^7  
     NB/ wJ3 F  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 5zI I4ukn*  
     $Xo_C_:B  
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    Kd,7x'h`E  
    建模任务 %xI,A'#  
    iu.+bX|b  
    & AlX).  
    @k2nID^>  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) KbF,jm5  
    }q@Jh*  
    系统建模块 uYwJ[1 C  
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    ,a,coeL  
    特定位置的Talbot图案 h3Z0NJ=xM  
    <P1sK/IZb  
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    ~I)\d/7o  
    特定位置的Talbot图案 }M9L,O*^   
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    不同位置的Talbot图案 "S@%d(lg  
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    不同位置的Talbot图案 'PrrP3lO_~  
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    沿 Z 轴的强度 @'EU\Y\l  
    Ey!+rq}  
     ']ussFaQ  
    ( XoL,lJ  
    VirtualLab Fusion技术 @(:M?AO9S.  
    X4U$#uI{  
     1x#Z}XG  
       7a}vb@  
    文件信息 LHb(T` .=  
    D?3^>h  
     D f H>UA  
     
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    离线gangzi0801
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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