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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 J|ni'Hb  
     %&D,|Yl6  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ,(%?j]_P2  
     OI=LuWGQE1  
    [P'crV,m  
    ct,Iu+HJ  
    建模任务 \ow3_^Bk  
    uU&,KEH  
    ;H%&Jht  
    x2 s%qZ#  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) V !Cu%4  
    ah82S)a`}  
    系统建模块 +Xb )bfN  
    "K.XoG4|  
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    tcovMn '  
    特定位置的Talbot图案 1KH]l336D"  
    mPl2y3m%  
     f?-=&||f78  
    H(eGqVAq,  
    特定位置的Talbot图案 5 IK -V)  
    KJ7[DN'(  
    'Gn-8r+  
    不同位置的Talbot图案 cBgdBPDa  
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     6]GEn=t  
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    不同位置的Talbot图案 lq4vX^S  
    {l/]+8G^  
     M?61g(  
    2r3]DrpJ  
    沿 Z 轴的强度 -c^/k_n  
    {nyQ]Nu"  
     R @h@@lSf  
    x~7_`=}rO  
    VirtualLab Fusion技术 UfE41el:  
    >a5M:s)  
     (thDv rT@2  
       "8p fLI  
    文件信息 (kECV8)2  
    o6@Hj+,,  
     SC'F,!  
     
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    离线gangzi0801
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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