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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 z~ua#(z1S  
     @0%[4  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 Nl^u A  
     Z7k ku:9  
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    B/Ltb^a  
    建模任务 A>)Ced!  
    QkYKm<b  
    ^b 3nEcQn  
    Ao\Im(?  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) D$VRE^k  
    @Thrizh  
    系统建模块 lBudC  
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    特定位置的Talbot图案 -1w^z`;2h  
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    特定位置的Talbot图案 x+v&3YF  
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    不同位置的Talbot图案 h-U]?De5\  
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    沿 Z 轴的强度 M|R\[ Zf  
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    VirtualLab Fusion技术 o\fPZ`p-m~  
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     ,l.+$G  
       <RcB: h  
    文件信息 k#Qjm9V  
    %v UUx+  
     w }8=sw  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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