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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 4AW-'W  
     ~XU%_Hz  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 "Te[R%aP  
     a=@]Ov/  
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    !p #m?|Km  
    建模任务 w>S;}[fM  
    vJI]ZnL{  
    Lp31Y . 4  
    bAOL<0RS9`  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ZP-^10  
    %j $r"  
    系统建模块 <UsFBF  
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    &;3iHY;  
    \*yH33B9  
    特定位置的Talbot图案 W2>VgMR [  
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     vd{ban9  
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    特定位置的Talbot图案 D*0[7:NSO  
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    不同位置的Talbot图案 pf% yEz  
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    不同位置的Talbot图案 yRAfIB$T}"  
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    沿 Z 轴的强度 ~v>3lEGn*  
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    VirtualLab Fusion技术 TTagZI$  
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       qx5jaa3  
    文件信息 gT_tR_g  
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     <s=i5t My5  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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