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摘要 XWH~o:0<2 r+d%*Dx 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 y/Paq^Hd 1s/t}J~zZ ):kDWc #]cO]
I 建模任务 FK{Vnj0 %?@N-$j "NMX>a,( M9M~[[
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) {f<2VeJ <$qe2FtUq 系统建模块 'M VE5 H0LEK(K ,l1A]Wx ko2 ?q 特定位置的Talbot图案 zU}Ru&T9 |@!4BA
F4 `ud;1H M&wf4)*%0+ 特定位置的Talbot图案 k><k|P[| *S%~0= ~M _@_ 不同位置的Talbot图案 j0_)DG S ( e]@
*6IytWOX5 iGlg@ 不同位置的Talbot图案 `bY>f_5+ z10J8Ms'
DP_ ]\V<sT Z8IY!d 沿 Z 轴的强度 # 3UrGom Dc-v`jZ@)
0@7% QMwrt VirtualLab Fusion技术 (#KSwWo{ed pL2P
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X\sO eb:] =#L\fe)q) 文件信息 /u?ZwoTzY r}T(?KGx
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