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摘要 )Y1+F,C =p8iYtI 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 cn_KHz= J<iiA:&J |' kC9H[> Jj1lAg0 建模任务 Zqg
AgN@ P=4o)e7E! srU*1jD) >6zWOYd structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]A_A4=[w .X4UDZQg 系统建模块 ?+{qmqN 3=lQZi<]% Xr|e%]!** U4y ?z 特定位置的Talbot图案 a/q8v P `v Ebm Xb
u|ru$cIo i"M$hXO 特定位置的Talbot图案 d+7Dy3i|g= 2\xEMec w}(Ht_6q{ 不同位置的Talbot图案 HO8x:2m Oufdi3h
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IlP@a[:_ X;p4/ *U VirtualLab Fusion技术 ulY<4MN jE, oEt O;
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