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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 W([)b[-*  
     &"._%S58V  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 0(Vbji  
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    建模任务 '# "Z$  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]"dZE2!  
    prlnK  
    系统建模块 +AZ=nMgW  
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    特定位置的Talbot图案 Ar'}#6  
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    特定位置的Talbot图案 ?fXg_?+{'g  
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    不同位置的Talbot图案 !}"npUgE  
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    不同位置的Talbot图案 P;VR[d4e/  
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    沿 Z 轴的强度 Sj+ gf~~  
    !H~!i.m'-  
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    /_*:  
    VirtualLab Fusion技术 kX'1.<[  
    B6 x5E  
     L0UAS'hf  
       KFA B  
    文件信息 zO2<Igb  
    UldKlQ8  
     IqfR`iAix  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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