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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 )Y1+F,C  
     =p8iYtI  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 cn_KHz=  
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    建模任务 Zqg AgN@  
    P=4o)e7E!  
    srU*1jD)  
    >6zWOYd  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]A_A4=[w  
    .X4UDZQg  
    系统建模块 ?+{qmqN  
    3=lQZi<]%  
    Xr|e%]!**  
    U4y ?z  
    特定位置的Talbot图案 a/q8vP  
    `v Ebm Xb  
     u |ru$cIo  
    i"M$hXO  
    特定位置的Talbot图案 d+7Dy3i|g=  
    2\xEMec  
    w}(Ht_6q{  
    不同位置的Talbot图案 HO8x:2m  
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    不同位置的Talbot图案 IqjH  
    Et"B8@'P  
     3%V VG~[  
    YjeHNPf  
    沿 Z 轴的强度 upF^k%<y:  
    p~t5PU*(  
     IlP@a[:_  
    X;p4/ *U  
    VirtualLab Fusion技术 ulY<4MN  
    jE, oEt O;  
     C@FX[:l@-  
       E1rxuV|9  
    文件信息 n@| &jh  
    v>p~y u+G  
     O(44Dy@2  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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