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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 XWH~o:0<2  
     r +d%*Dx  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 y/Paq^Hd  
     1s/t}J~zZ  
    ):kDWc  
    #]cO] I  
    建模任务 FK{Vnj0  
    %?@N-$j  
    "NMX>a,(  
    M9M~[[   
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) {f<2VeJ  
    <$qe2Ft Uq  
    系统建模块 'MVE5  
    H0LEK(K  
    ,l1A]Wx  
    ko2?q  
    特定位置的Talbot图案 zU}Ru&T9  
    |@!4BA  
     F4`ud;1H  
    M&wf4)*%0+  
    特定位置的Talbot图案 k><k|P[|  
    *S%~0=  
    ~M _ @_  
    不同位置的Talbot图案 j0_)DG  
    S ( e]@  
     *6IytW OX5  
    iGlg@  
    不同位置的Talbot图案 `bY>f_5+  
    z10J8Ms'  
     DP_ ]\V<sT  
    Z8I  Y!d  
    沿 Z 轴的强度 # 3UrGom  
    Dc-v`jZ@)  
      0@7%  
    QM wrt  
    VirtualLab Fusion技术 (#KSwWo{ed  
    pL 2P .  
     X\sOeb:]  
       =#L\fe)q)  
    文件信息 /u?ZwoTzY  
    r}T(?KGx  
     x *:v]6y  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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