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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 0 Q>  
     Q.4+"JoG  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 4UL"f<7 T  
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    建模任务 "JF   
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    (8S+-k?  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) P5XUzLV L  
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    系统建模块 wMm+E "}W  
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    特定位置的Talbot图案 rIv#YqT  
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    特定位置的Talbot图案 nm|"9|/  
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    不同位置的Talbot图案 'Um\m  
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    不同位置的Talbot图案 (:# 4{C  
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    沿 Z 轴的强度 :$^sI"hO  
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     q={3fm  
    +P*,i$MV  
    VirtualLab Fusion技术 P^/e!%UgC  
    dBL{Mbh2Z  
     g3w-Le&T  
       U,2\ TBz  
    文件信息 V+y:!t`  
    V,3$>4x  
     4y9n,~Qgw  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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