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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 @PSLs *  
     (.23rVvnT@  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ^?GmrHC)  
     Yj3I5RG  
    !#N\ b  
    46No%cSiG  
    建模任务 vhgLcrn  
    7~UR!T9  
    8dO?K*J,H'  
    m_7 nz!h  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 3z8C  
    ]?LB?:6  
    系统建模块 #wR;|pN  
    8e2?tmWM  
    #Dy?GB08  
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    特定位置的Talbot图案 wCKj7y[  
    %X1x4t]  
     @g-Tk  
    TO#Pz.)>B6  
    特定位置的Talbot图案 q|(W-h+  
    /-M@[p&  
    {D`T0qPT[  
    不同位置的Talbot图案 o l ({AYB  
    Acm<-de  
     01@t~v3!Z  
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    不同位置的Talbot图案 .*/Fucr  
    EqB)sK/3  
     Ip *g'  
    L}k/9F.5  
    沿 Z 轴的强度 sRhKlUJG  
    H=^K@Ti:  
     qUJ aeQ  
    [iS$JG-  
    VirtualLab Fusion技术 gAbD7SE  
    =:I+6PlF@  
     19U]2D/z  
       47>>4_Hz  
    文件信息 \2v"YVWw  
    $'wq1u  
     [ .,>wo~  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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