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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 V*6&GM&  
     2v*X^2+  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 M&/e*Ta5  
     ')fIa2dO/  
    Jx4~o{Z}c  
    ) I.uqG  
    建模任务 9*?YES'6  
    PCKxo;bD  
    ; Oz p  
    {N-*eV9#  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) w;Pe_m7\EO  
    _xP@kN~  
    系统建模块 K~8!Gh{h]  
    g-+/zEOUS  
    Zl2doXC  
    !6s]p%{V  
    特定位置的Talbot图案 6SSrkj}U  
    rV I-Yb  
     ?3iN)*Ut  
    34vH+,!u  
    特定位置的Talbot图案 q1%xk =8  
     $)(Zt^  
    KH[Oqd  
    不同位置的Talbot图案 1a},(ZcdX  
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    不同位置的Talbot图案 maQOU1  
    Vao3 &#D8  
     ^F/H?V/PX  
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    沿 Z 轴的强度 pkA(\0E8  
    !=+hU/e  
     z#olKBs  
    S3 /Z]?o  
    VirtualLab Fusion技术 }/.b@`Dh;  
    p:|p?  
     (K> 4^E8  
       2wZyUB;  
    文件信息 }9&~+Q2  
    k5GJrK+  
     I[v~nY~l`  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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