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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 R$8{f:Pj  
     -v.\W y~\  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 $`55 E(  
     k$JOHru  
    849,1n^  
    b&mA1w[W]  
    建模任务 >%om[]0E  
    O ~6%Iz`  
    }b&lHr'Uw  
    o3/o2[s  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)  2Y23!hw  
    jr?/wtw  
    系统建模块 X<$Tn60,  
    @$ Zh^+x!  
    w9G|)UDib  
    :sJ7Wok6~  
    特定位置的Talbot图案 gS5MoW1  
    <D~hhGb  
     A5TSbW']+5  
    O573AA  
    特定位置的Talbot图案 wW1VOj=6V"  
    j<*7p:L7_>  
    /*T^7Y&  
    不同位置的Talbot图案 1+uZF  
    hm! J@  
     c 'wRGMP  
    in<.0v9w  
    不同位置的Talbot图案 J<QZ)<T,&  
    w;`Jj -  
     Rz g;GH  
    "u!gfG?oH  
    沿 Z 轴的强度 Y~g{9 <!  
    )|xu5.F  
     J W@6m  
    z7bJV/f  
    VirtualLab Fusion技术 9 A ?{}c  
    5 ix*wu`,  
     PJC(:R(j  
       LJ/He[r|[  
    文件信息 4k<o  
    $h{m")]  
     Vb`Vp(>AU  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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