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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 T;1aL4w"  
     iNG =x   
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ^CfWLL& c  
     -40s  
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    建模任务 5XF&yYWq  
    #%{x*y:Ms  
    >)8<d3m  
    ^2-+MWW.  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) byN4?3 F  
    6SP!J*F  
    系统建模块 C%q]o  
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    0RGqpJxk  
    特定位置的Talbot图案 L',7@W  
    a(IZ2Zmr  
     ~zc B@; :  
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    特定位置的Talbot图案 4cZlQ3OE.  
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    不同位置的Talbot图案 8ps1Q2|  
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    不同位置的Talbot图案 JVq`v#8  
    K/|qn)  
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    沿 Z 轴的强度 4mwLlYZ  
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    GEZ!z5";BQ  
    VirtualLab Fusion技术 .v[!_bk8C  
    jM;?);Dd  
     oRQ( l I>  
       '$y.`/$  
    文件信息 |6T"T P  
    U{PFeR,Uk  
     $x;(C[  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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