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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 a uz2n  
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 fr<, LC.  
     Dx<CO1%z-  
    xlWTHn!j  
    xkzC+ _A  
    建模任务 =!%+ sem  
    Z*(lg$A9 M  
    _GK3]F0  
    +e%U6&l{  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) s8<)lO<SV.  
    0jN?5j  
    系统建模块 v/yt C/WH"  
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    特定位置的Talbot图案 q"[8u ]j  
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    特定位置的Talbot图案 ,@Izx  
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    不同位置的Talbot图案 kWgZIkY  
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    不同位置的Talbot图案 ^3L6mOoA  
    Bld$<uU  
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    沿 Z 轴的强度 =wW3Tr7~  
    B|Rnh;B-  
     x`vIY-DS  
    m18If  
    VirtualLab Fusion技术 9s-op:5  
    '}{J;moB  
     8@|rB3J  
       jyt#C7mj-A  
    文件信息 _/_1:ivY8  
    ec4jiE  
     :_q   
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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