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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 muD7+rn?&  
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 &HS6}  
     YLEk M  
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    建模任务 O@n1E'S/  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 9/La _ :K  
    5LPyPL L  
    系统建模块 vCPiT2G  
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    特定位置的Talbot图案 .6@qU}  
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    特定位置的Talbot图案 |.]:#)^X?  
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    不同位置的Talbot图案 G!y~Y]e  
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    沿 Z 轴的强度 p6qza @  
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    VirtualLab Fusion技术 S\qYw(G  
    H*l2,0&W  
     m{U+aqAQK  
       U~,~GU=X  
    文件信息 $LS$:%i4  
    r%*UU4xvB  
     {AJcYZV  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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