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摘要 "ue$DyN
>MWpYp 在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ,(27p6!
_L'cyH.cn  nYy}''l< <o7#?AcP u 建模任务 %
r Y8 B=bI'S8\  `vxrC&,As -0o6*?[Z structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) z O5u{ ObyuhAR 系统建模块 >_aio4j}r 1|WpK aMoq  rK QASRF5* k?/ v y9 特定位置的Talbot图案 #f3 ;}1( +>:}req
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