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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 =fLL|  
     }Ag|gF!_  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 3*S[eqMJc  
     0`hwmDiB"  
    x2wg^$F*oO  
    '8`T|2   
    建模任务 Z_z#QX>=D  
    7Ur?ep  
    B+VuUt{S  
    z MdC  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 60B-ay0e$b  
    mMw;0/n  
    系统建模块 V 2znU  
    +H'\3^C-  
    a<Uqyilm  
    QX0 Y>&$ )  
    特定位置的Talbot图案 O&?.&h  
    z_SagU,\  
     XF,<i1ZlM  
    /0==pLa4  
    特定位置的Talbot图案 zhEo(kU!  
    -zfoRU v  
    Hhv$4;&X  
    不同位置的Talbot图案 L'kq>1QWf  
    jz:gr=* z  
     iyM^[/-R6  
    bkQ3c-C<  
    不同位置的Talbot图案 B4W\ t{  
    (Pi-uL<[a  
     av'*u  
    2_pz3<,\  
    沿 Z 轴的强度 (aKZ5>>cN  
    ZlR!s!vv  
     ?ApRJm:T  
    D1"7s,Hmu  
    VirtualLab Fusion技术 M []OHw  
    |O (G nsZ  
     d79N-O-  
       LpWI>sNv  
    文件信息 {yq8<?  
    f'{>AKi=C  
     jxY-u+B  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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