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摘要 (C8 U ~7dM!g{W 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ?M *7@t@ NFk}3w:
?PBa'g 8YuJ8KC 设计任务 :ozV3`%$( T
n"e 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 &+mV7o J|VK P7
c |>=S)| di~]HUZh) 光栅级次分析模块设置 +c^_^Z$_4o Iz
DG&c Fi mN?s 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 9n1ZVP.ag !Y (apVQ
QX[Djz0H8 ^_v[QV o^3FL||P#r 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 \)ip>{WG 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ev9;Ld 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 JnfqXbE 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ,4[dLWU 3sH\1)Zz
|xn#\epy@ 衍射分束器表面 'It?wB W i+g~ Uj}h
]eE 1n2 ^YGTh0$W 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 JIzY,%`\ [ `7%sn]$
j&5G\6: iOX Z]Xj5
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v>Oh# e}c&LDgU 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) B`fH^N o\Uu?.-<
cFK @3a YutQ ]zYA. 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 c!It^* 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 CE uWw:) 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 T-'~? [v &)n_]R#)
7h%4] }Dn^d}?s|| 光栅级次和可编程光栅分析仪 CK0l9#g e+. \pe\
[ $pmPr2 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 `5q
;ssu fiVHRSX60 ]dSK
wxk 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 `9Yn0B. WF2NG;f= ]ab#q= 设计与评估结果 E V2 ) 相位功能设计 2?W7I/F 结构设计 |Y},V_@d TEA评价 ySe$4deJ FMM评估 o:"anHs 高度标度(公差) j(eFoZz, D'b#,a;V 通用设置 PFM'&;V ye%iDdf 9@K.cdRjQ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 bUZ_UW 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 1D F/6y H6K`\8/SeN !lTda<;] 纯相位传输设计 rkB'Hf KL [ek
C$d>_r }^-<k0A4? 结构设计 2 rN ,D( u,1}h L
j}:~5 |. x[Im%k geM6G$V& 更深的分析
fvEAIs •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ;apzAF •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 N@xg:xr •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 jZpa0g rA )J D(`
1u|V`J)0 QAPu<rdJP 使用TEA进行性能评估 .fYZ*=P;c 8X$LC
rJJ[X4$ J=W0Xi! 使用FMM进行性能评估 5D Y\:AF Zg~nlO2
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C _[K"gu 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ::5E 8919 MZ>6o5K|
Ge+0-I6Ju G:W>I=^DaR 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 (ljF{)Ml+= tV;`fV
c{+A J8 j;1 -p>z 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 3+Qxg+< -r7]S
SOZPZUUEJ \2 y5_;O VirtualLab Fusion技术 ~EzaC?fQ 8eBOr9l+j
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jXI Ycr3HLJy 更多阅读 &MZ$j46 l v&mp0V+
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