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摘要 Uj!L:u2b Q7}wY 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 l "4"L"lJ
!0fK*qIL u"|.]r 设计任务 Mm/GIa pn
=S%Qf] 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 7,+:QY@ .pdgRjlSn
97Q!Rot jXW71$B 光栅级次分析模块设置 /1OhW>W3eH ~&yaIuW< ~?L. n:wu 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 F[ ? t"d f3596a
z ,ledTl l7x%G@1#~W vkt)!hl ` 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 DAvAozM 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Wo2M}]0 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Y.}n ,y|J} 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 E4{^[=} #v~5f;[AAs
HX=`kkX 衍射分束器表面 -AffKo 3gGF?0o
,YiBu^E9
c^=,@# 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Zd5frc$ $Z;0/\r%
~Aq UT]l n=yFw\w'
4)"jg[ "urQUpF 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) /sYD+*a ].Et&v
n\P{Mc M"V?fn' 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 R"82=">v 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 QiZThAe 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Wm"W@LPx5 V=
.'Db2D
aIm\tPbb G,$jU9 f 光栅级次和可编程光栅分析仪 l$zM|Z1wR` &PGU%"rN
e<IT2tv>u 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 hZyz5aZ)K [1Vh3~>J6 \6sp"KqP 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 P [gqv3V ,rG$JCS'KQ ]^.#d 设计与评估结果 7[8PSoo 相位功能设计 8Y&(o-R0 结构设计 QRa>W/N TEA评价 Z,Q)\W<'- FMM评估 +=:CW'B5 高度标度(公差) 'KXvn0 Blf;_e~=[j 通用设置 *%Q!22?6F f4:gD*YT \]o#tYN\a0 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 \5O4}sm$* 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 fpzC# N|8TE7- F| :,:r 纯相位传输设计 :~g=n&x 7]G3yt->
_ea!psA0 >D*L0snjV 结构设计 UX(#C,qgG rbs:qLa%
qM]eK\q 1 q *-q5FE ci|6SaY* 更深的分析 :3u>% •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 nV
GrW#'E •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 HP&+ 8 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 {bl^O $\{@wL
>H?8?a D p)Z$q2L 使用TEA进行性能评估 i!jxjP ZOfyy E
}<A\> k6.}. 使用FMM进行性能评估 jsc1B I=|b3-
leX&py jj.i W@m 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 d\D.l^ ZB<goEg
1Y\g{A" 7k{C'\m 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 LEWeybT j:\MrYt0H
9SXFiZA(r 0vt?yD 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 &8z`]mB{t t|%wVj?_
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(%YFcE)SRS -:dUD1 更多阅读 5iwJdm w:#yu
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