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摘要 lKA2~ o 5;yVA 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 KX $Q`lM
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{z0PB] U 设计任务 h_?#.z0ih; ?D]qw4 J 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 lV)SOs$ JzZ9ua
QU%'z/dip u4,b%h. 光栅级次分析模块设置 vo3[)BDbT WC
ZDS> K" U!SWv 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 /&Vgo~.J /ar/4\b
qW(_0<E VjhwafYC V9r58hbVT 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 1WbawiG} 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 u9~RD 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 jy2@t * 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 {V*OYYI`R 3NA
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r1!]<= &\ 衍射分束器表面 #&jr9RB q=|0lZ$`V_
%G>|u/:U ~!G&K`u 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 /qalj\ud VtJy0OGcRP
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OJH:k~]0! |}y6U< I 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) H@R2mw g
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Z" !+p{u c6NCy s 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 mK2M1r 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 }:5>1FfX= 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 !Ho=(6V Q(e 3-a
?fXlrJ V^^nJs
tV 光栅级次和可编程光栅分析仪 LpJ_HU7@lk <Gr775"
|NiWr1&i0 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 389puDjy &_!g|- ;%R+]&J 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Cq0S8Or0 tR]1c h""a#n)q}` 设计与评估结果 K)`\u7Bu 相位功能设计 9g*MBe: 结构设计 Y_)aoRjB TEA评价 Wo^r#iRko FMM评估 r|WoM39bp 高度标度(公差) zDk^^' 8;YN`S!o 通用设置 w C0fPPeA F; IG@ & zJfoU*G/B 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ]bq<vI% 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 1/bu}?a 3-Q*umh g]g2`ab | 纯相位传输设计 rX%qWhiEJ
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Y+7
"$Wi SR T1y,L<7? 结构设计 ]xhmM1$ NAj1ORy4pX
l.i"Z pik S!GjCog^J H>-?/H 更深的分析 sq_N!
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0 mWfR8h0 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 m<BL/7 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 H7e/6t<x >8V;:(nt
3986;>v sX3Vr&r 使用TEA进行性能评估 62}bs/% (WK$
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lHpo/R: Q~4o{"3.' 使用FMM进行性能评估 N,w;s-* icF -`m
T[=XGAJ DU7kZ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 3:a}<^DuCS oy'Q#!
E0c5c [Bp[=\ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 t%Z_*mIfmE unmuY^+<
/n7F]Ok'* Y#c11q Z 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 c7IgndVAV #UC4l]Ru A
@ -JD`2z `X]-blHo VirtualLab Fusion技术 sp[nKo^ -o F#a 8
sm}v0V.Js 4j)Y> 更多阅读 3vOI=ar=L~ qkv.,z"
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