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摘要 l 6;}nG C>vp
oCA 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 il \q{Y
o :{d?B$
"@JSF X=<-rFW 设计任务 Ifm|_ SV4a_m? 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ;MqH)M S'jH
4$+9Wv ,h'q}5 光栅级次分析模块设置 R~$W z#8d\X/ d5zF9;[ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 |d* K'+ 94umk*ib
(1r.AG`g a_UVb'z )vFJx[a<n` 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 e>Vr#a4 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 \#.@*?fk 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ubn`w=w$ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ZX0ZN2 ] / ;U
:RsO$@0G 衍射分束器表面 rRN7HL+b K; 7o+Xr
S+Aq0B< qYHAXc}$ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Y~qv 0O6K zW`$T88~
qHGXs@*M& paUlp7x
q$$:<*Uy D@V1}/$UoN 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 7gR8Wr ^ }t tiL
A4,tv#z !%' 1x2? 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 8]6u]3q# 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ESk<*- 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 yv:8=.r}M 3@ a
LFsrqdzJ >^#OtFHuT) 光栅级次和可编程光栅分析仪 ceakTAB[ 4WV'\R+m
sp4J%2b 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 xkIRI1*! Vy-EY*r| mC
P*v- 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 $]4>;gTL' 4J=6A4O5Z PiD%PBmUl 设计与评估结果 =&QC&CqEi 相位功能设计
D(}w$hi8 结构设计 ;-=Q6Ms8 TEA评价 O2|[g8(_F FMM评估 z~TG~_s 高度标度(公差) {*VCR `I(#.* 通用设置 sd;J(<Ofh -@49Zh2' MS~c
$ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8}/v[8p 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
?*i qg[: vEJ2d& <}~`YU>=v 纯相位传输设计 ,Vz
1l_7 )D
^.{70N
;=IC.<Q<} Mp=2}d%P 结构设计 jseyT#2
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>#}MDwKZD <qD/ #$ P q\m8iS,w 更深的分析 c[:OK9TH •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Z^i=51 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 6Q<^,`/T •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 | ,bCYK jk-hIl&
d\aarhD8* k!e \O> + 使用TEA进行性能评估 s#,~Zb= wB6ILTu1
BU[.P] V[f-Nj Kf 使用FMM进行性能评估 $x,?+N %G6ml,
q\Cg2[nn2 Lpw9hj| 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;[%_sVIy ncg5%(2
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kt8P\/~*i 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 NET?Ep ~b+TkPU
8'Dp3x^W> k0IW,z% 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 %c%0pGn8- y2k'^zE
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