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摘要 / /rWc,c o~>go_Y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 uV:;y}T^Z q|2C>{8
jX,~iZ_B 0g)mf6}o 设计任务 VlNzm =Z$6+^L 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 /LzNr0>2 /q]@|5I
xI8*sTx
6 m%3Kq%?O 光栅级次分析模块设置 F,:VL*.5kJ "YZ`g}sG 0w]?yqnE 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 }@4*0_g"Aw wH<*
u] b6> _Pal)re]U ']D( ({%g 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 lU&IS?^? 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 jL1UPN 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 fok#D>q 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 /#5ZP\e p(>'4#|qy
jnY4(B
衍射分束器表面 39CPFgi<l* z{x -Vfd
CcQ|0 yhmW-#+^e 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 V
ZGhF!To %Et]w
6qf`P!7d]M /-lmfpT
&I= q% E{J;-+t 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) c,^-nH'X> +L6$Xm5DAv
$Izk]o;X~ E~ kmU{D 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 #96a7K 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 -6\9B>qa 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 WYL.J5O F(r&:3!97
Pc<ZfO # iatQHn>( 光栅级次和可编程光栅分析仪 pppbn]%Ob o~B=[
78wcMQNX9 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 kQ+5pFo3 04:Dbt~=?p _DQdo 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 $[Ns#7K q I}Zg)q] .755-S 设计与评估结果 n$QFj' 相位功能设计 whshjl?a 结构设计 1mqFnVkf&+ TEA评价 ,ic}
FMM评估 5:wf"3%% 高度标度(公差) O{PRK5 ^h ?zEgN!\R) 通用设置 I
g`#U~ W7 $yE},z {#MViBhd% 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 dO2cgY} 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 iBQf tq7 |j;`;"+B Vufw:}i+^ 纯相位传输设计 !?96P|G 8eNGPuoL)
HDYf^mcW ]?2AFkF 结构设计 -Ac^#/[0 :}lE@Y,R
T!n<ya! Q]\xO/ LxbVRw 更深的分析 u[% #/ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 shD$,!
k •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Pdv&X*KA •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 E?-K_p qQb8K+ t
V:lDR20*\ @U}UC G7+ 使用TEA进行性能评估 W\Gg!XsLk x?k6ek
)S]c'}^ X@s s d 使用FMM进行性能评估 D^pAf/ek@i 8w\&QX
0Bll6Rd wz ,woF| 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 .]"
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o,d:{tt &CS= *)>$ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 !U91 \(u P{,ML
:r\<DVj uaS?y1:c 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 SXhJz=h vt1!|2{
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Oh;i VirtualLab Fusion技术 ]$7|1-&Y }\9qN! ol
v>,XJ 7P g}f@8;TY 更多阅读 B%,0zb+-L V
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