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摘要 x>8=CiUE ~9#\+[ d_ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 zjs@7LN )zkk%mE/IM
]xBQ7Xqf| A_6b 4T 设计任务 6Daz1Pxd+ ,YX[6eZr 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 &EYO[~D06 <\|f;7/
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)s4#)E1
光栅级次分析模块设置 a02@CsH &ok2Xw 3de<H=H' 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 @5K/z<p% 3N|,c]|
LSv0zAIe/ ?ntyF-n& a938l^@;s8 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 %,Xs[[?i 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 tbrjTeC 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 +FRXTku( 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ^P
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O+A/thI%*S 衍射分束器表面 N'w;1,c+ Z6\OkD
Q9=X| fFudoIC 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 D'2&'7-sm\ Rm`_0}5
M^DYzJ ZgVYC4=Q-\
P#]%C ^noKk6Aaa 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ig3HPlC fT9$0:eO
&$ZJfHD@ p "EQ6_f 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 *oqQ=#\ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 9#L0Q%,* 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 7KXc9:p+ eD5.*O
gBGUGjVj gZF-zhnC 光栅级次和可编程光栅分析仪 PMC5qQ%x t$m~O?I
U<QO@5 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 u+"3l@Y# h BD .IB ^u`1W^> 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 {Hg.ctam [Zc8tE2oN HfEU[p7) 设计与评估结果 KfD=3h= 相位功能设计 :23w[vt= 结构设计 L q<# TEA评价 +Z99x# FMM评估 ?o307r 高度标度(公差) 2ZW
{ 8i"v7} 通用设置 <=2\xJfxB Hy}oSy26 n?'I&0>M 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 }}L :6^ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 r/o1a't; Q'D%?Vg' yh~*Kt]9Ya 纯相位传输设计 %i[G6+- %<c2jvn+k
EY'kIVk wj$l 093 结构设计 9n\:grW ?Vg251-H
IL*Ghq{/ HoE@t-S }t5-%&gBY0 更深的分析 zpi
Q ;P •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 eQK}J]S< •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 pK/r{/>r •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 nX
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^}R {"f4oK{w 使用TEA进行性能评估 Xm#rkF[, %a\!|/;6
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rvPY 使用FMM进行性能评估 l;F\s&^ VS.~gHx
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1v9sMN, 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 l=+hs N>a. dYXr
ldFK3+V (^),G-] 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 P_7QZ0k/ MK1V1F`
>aw`kr ;iB9\p$K) 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 UQ[!k 6 r1pj-
}o9fpo| C_5o&O8Bc VirtualLab Fusion技术 5f#N$mh <vb%i0+b.^
ZwzN=03T ICvl;Q 更多阅读
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