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摘要 w-
UKMW9" FJO"|||Y'| 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 aRbx }X=87ud
*f79=x -G8c5b[ 设计任务 zL9VR;q HbNYP/MN3 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 #2h+dk$1 o[o:A|n
sT)6nV GtF2@\ 光栅级次分析模块设置 ]\OWZ{T'j
\;-qdV_JB p?;-!TUv 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 s0r"N7~ 1 ojhh7<
WElrk:b mKV'jm0 XdcG0D^ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 K>kLUcC7Z 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 \ZS\i4 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 JL.5QzA 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 C*7!dW6 Wdo#?@m
$'^&\U~? 衍射分束器表面 kGm:VYf% +O'vj
!6Q`>s] r:-WzH(Ms 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 .8]Y- X:Q$gO?[4
Y&s2C%jT 6)ycmu;!$
U h.Sc:trA uyFn}y62 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Te;gVG * z5 Bi=~=#
" \:ced h4Ia>^@ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 =O,JAR"ug 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 AliRpxxd 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ^/*KNnAWp k5@d! }#c
>dk9f}7- /&h+t^l_Qj 光栅级次和可编程光栅分析仪 ZW*n /#GUC XvskB[\
t^.'>RwW| 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 |z~LzSJv ^Gq5ig1rxy J3G7zu8 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Wt J{ t8&q9$ t[EfOQ 设计与评估结果 !9r:&n.\ 相位功能设计 /BpxKh2p 结构设计 Pd~MiyO;K TEA评价 aX^+ O, FMM评估 ^Dr.DWi{$ 高度标度(公差) G;TsMq /)9W1U^B 通用设置 se!mb _! )47MFNr~> ] TSg!H 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 (KTnJZ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 7yI`e*EOD xQu
eE{ ?z/Vgk+9| 纯相位传输设计 (R'+jWH z856 nl
v7IzDz6gF $%PVJs 结构设计 r7 VXeoX u,7zFg)H
zX kx7d8 XoR>H4xh dB;3.<S= 更深的分析 uLN[*D •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 hVP
IHQt •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 #tjmWGo, •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
u1cu]Sj0 E=u/tpj
TfRGA(+# = .oHnMX2M 使用TEA进行性能评估 }rbZ&IN\?E ?_q+&)4-o
4/*H.Fl E'c%d[:H, 使用FMM进行性能评估 -2i\G .,J }+RB=#~o
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|^^K!% 4tXSYHd3 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 lKKERO5+ |}[nH>
R$m`Z+/@ 9"sDm}5% 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 .Q&rfH3 LJQJ\bT?
(j&A",^^S V 0{tap} 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ?Zz'|.l@ 8Fq_i-u
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SH8/0g? bAF )Bli 更多阅读 .px:e)iW ~]uZy=P? 5
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