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摘要 P
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o 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
K252l,;| R v61*F4
Hcw@24ic $O*rxQ} 设计任务 5}3Q}o# YYDLFtr2 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 d[+ xLa \BC|`)0h
z= pb<Y@X k;v23 光栅级次分析模块设置 ag*RQ yZ t}Jnv Y|FJ1x$r 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 OHeVm-VC K9co_n_L
KQ<pQkhv 3R%'<MV| T"Ph@I< 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 wrq0fHwM 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 V.PbAN 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 "WOY`su> 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 CLI!( 8ZW O@jW&-;
{.tUn`j6V 衍射分束器表面 :UmY|=v?t :&Xy#.un
PdG:aGQ> p(UUH3%W 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Hw8`/'M=%5 7-81,ADv(
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n0#HPI" 9,y*kC 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) F,^Q'$! 4J*%$Vxv
VJ P]Jy_ #imMkvx? 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 UahFs 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 IGs!SXclCs 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 S/pTFlptCa |S#)[83*3
eX$P k: @~Z:W<X 光栅级次和可编程光栅分析仪 A<.`HCv2 )6dvWK
weC$\st:D 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 :M(%sv</ 31-%IkX+k T%K"^4k 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 DPIiGRw :i+Tf~k{ jI0gQ [ 设计与评估结果 C#X|U2$ 相位功能设计 3B95t- 结构设计 k0.|%0?K TEA评价 TGu`r>N51 FMM评估 n
*|F=fl 高度标度(公差) L!:} \M1- 通用设置 K:/%7A_{ G^J|_!.a !Y/$I?13Z 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 !u@e^J{Ao 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 C0;c'4( >lxhXYp pA9^-:\* 纯相位传输设计 <m"Zk k ?)k;.<6
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结构设计 HYf&0LT<11 *j RNpB{)z
Mp9wYM* ;muxIr`? !lp*0h(7 更深的分析 77"'? •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 V~`
?J6 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Hrm^@3 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 /<)A!Nn+F jHq.W95+P
ju`x a,IE;5kG 使用TEA进行性能评估 PJLSDIeN Zoh[tO
GV'Y' ZW
n j- 使用FMM进行性能评估 0\84~t'[ E'zLgU)r`
sui3(wb =B_vQJF2 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 JSCe86a7<E Sb I %|
<m:8%]%M6 ys|a ^VnN 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 y}dop1zp @DG$
XOK.E&eilj FB3C'!'<) 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 C;#vW FE [=imF^=3Vb
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K8CQ Y S )Q#fP VirtualLab Fusion技术 o_hk!s^4m -@f5d
VuZd GF[onfQY7 更多阅读 Y8YNRyc= }DiMt4!ZC!
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