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摘要 p+dOw# }]JHY P\ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 )ybF@emc :T<5Tq*+x
RaP,dR+P bR8`Y(=F9b 设计任务 y*p02\) 1+YqdDqQ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 0sTR`Xk DgY
!)cS
+(^HL3 ?0?3yD-!9 光栅级次分析模块设置 h[Uo6` y0~ttfv ;~'& m 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 C7DwA/$D 5HIQw9g6
B-PX/Q 5}c8v2R:B 0N$FIw2 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Lj3Pp$h 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Lw%_xRn) 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 l@ (:Q!Sk 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Y*S:/b~y 6CSoQ|c{
P+wpX 衍射分束器表面 0m"Ni:KEf m/ID3_
O%N. ;Ve AWKJ@&pA9m 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 3dSC`K
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O;|Cu7WU K Hgn
F\|4zM OA(.&5] 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ._Ww QodWUbi'&
Z!7xRy ]vP}K 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 4 Tw~4b 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ic"8'Rwb 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 z?( b|v t,IOq[Vtk
]5Dh<QY&. -6~.;M 5 光栅级次和可编程光栅分析仪 NzTF2ve( Ip:54
Poa&htxe1 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 `E?0jQ M.r7^9 P a^pbBDi
W 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 $/B~ bJC
qLP/z R&a$w8 设计与评估结果 T ~(Sc'8 相位功能设计 X8R`C0
结构设计 Lj9RF<39g TEA评价 &i.sSqSI5 FMM评估 !8|}-eFY 高度标度(公差) Q2uV/M1? FROC/' 通用设置 2E[7RBFY+\ >]z^.U7= A`ajsZ{q, 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 $Ery&rX. 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ?Ve IlD ;R[3nb9% r$}C<a[U 纯相位传输设计 c38XM]Jeq *8/Xh)B;
G3%Ju= lM{f ld 结构设计 (6Z^0GL nS*Y+Q^9a
,^97Ks
; XW" 0:}`J T9H*]LxK 更深的分析 ,3y9yJQa*# •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ~IS8DW$; •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Np/\}J&IF •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 KP>9hEh 7K:V<vX5
OmO#} k< ?'9IgT[* 使用TEA进行性能评估 ]p3f54! C?T\5}h
Cl]?qH*: $?G@ijk, 使用FMM进行性能评估 ng"=vmu ,7]hjf_h
xI{4<m/0N 'in%Gii 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 U5OX.0 pB8D
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7l 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 K+F"V W*? C;N6",s!
aQtd6L+ J MMs~f* 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 MQ-u9=ys MK=oGzK
.qO4ceW2-~ cR/Nl pX VirtualLab Fusion技术 u ;-&r'J> gM\>{ihM'
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