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摘要 /Ny#+$cfk 4aKppj 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 wD/jN: gtIEpYN+
,4=mlte" )%<,JD 设计任务 OdOn wY D< kf/hj 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 2PSkLS&IM O`I}Lg]~q
lbGPy'h<rt &-!$qUli 光栅级次分析模块设置 BSy{"K*M :YPi>L5 FAdTp.
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Z;[xaP\S RN}joKV
~'|^|*}~Dj vY"I VrWQ] L 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 4TyzD%pOw 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ~YenH 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 -0TI7 @ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 \T!,Z;zK `[e0_g\
zl|+YjR 衍射分束器表面 J@QOF+ & 8C[eHC*r
gvPHB+#A (zxL!ZR< 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 `GlOl- 6pt|Crvu
J1w3g,
E(wS6
B.KK@ Spu; 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) >FS%-eI6 I[b{*g2Zw
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z_c; feH&Ug4?G 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 [k75+#' 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 {U@"]{3Qx 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 Y^C(<N$ EQk omjv
}_-tJ. 6)W8H X~+ 光栅级次和可编程光栅分析仪 &/:c?F?l :fnJp9c
=[[I<[BZq 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Zop/ MeI >;F}>_i vbX.0f "n 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 s&+`> dcTZL$ /|#2ehE 设计与评估结果 E2z=U 相位功能设计 g/WDAO?d 结构设计 m- a': TEA评价 j?T>S]xOX FMM评估 WnU2.: 高度标度(公差) ueg%D+u 8G2QI4 通用设置 YMy** ^ UhqV"[7k ^CM@VmPp 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 VC_F
Cz 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 k {vd1,HZ IP-M)_I b6H7>x 纯相位传输设计 nr8#;D YXmy-o>
f}KV4'n Tr4\ `a-i 结构设计 \TnK<83 @[`]w`9Q7
^|vP").aQm m(dW["8D pIug$Ke_% 更深的分析 lp5'-Jo •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 >WJQxL4 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Sn
7h$ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 44w
"U%+ @3 +
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FX7 ?B)e8i<[f 使用TEA进行性能评估 ~(NFjCUY? 8Fbt >-N<\
\d:Uq5d)0 wlh%{l 使用FMM进行性能评估 ^y93h8\y R<hsG%BS(D
&B1!,joH~ ar'VoL} 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 MSp)Jc 7|bBC+;(
> PL}7f&: NXz/1ut% 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 uINEq{yo 8/y8tMm]
iCGHcN^3 kQ_Vj7 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 `#r/L@QI $]W*;MTI}
9"L!A,&' BLt_(S?Z` VirtualLab Fusion技术 m(5LXHJnv e5lJ)_o
Nr"GxezU+A h+cOOm-) 更多阅读 f'7/Wj }N,v&B
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