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摘要 DA`sm vN:[ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ^G&D4uZ ROS"VV<
]fo^43rn{ Y>Hl0$:= 设计任务 n~u3 H~ n~5 sF" 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 d`uO7jlm y[6&46r7D
([b!$o<v |qcFmy 光栅级次分析模块设置 ]^jdO# #M NjN?RB/5 8`2<g0V2 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 qlITQKGG 6h6?BQSE
rw[ {@|)'z U!?gdX OP`Jc$|6 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 s%[GQQ-N 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 exO#>th1 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 [Cj)@OC 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 R{uJczu in#]3QGV
uk[< 6oxz 衍射分束器表面 2?- 07 g <o!&Kk 9
``|RO[+2 {{*]bGko 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 !Nl.Vb HXfXb^~
n<<=sj$\! I+"?,Ej$K
pq[X)]z| %aH$Tb%`hc 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) g(1B W#$ Va@6=U7c
ur<eew@8@i 7ec0Xh1 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 =vr Y{5!> 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 o9Txo
(tYU 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 9#&W!f*qO| /X^3=-{8
+an^e' :Wg-@d 光栅级次和可编程光栅分析仪 ?QMclzh*- E
{KS a
g+ }s:9 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 r%F(?gKXkd n{^<&GWox |O(-CDQe 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 O}MZ-/z=o~ b
H"}w$!>r
i}`_H^ 设计与评估结果 dv'E:R(a 相位功能设计 s[3![
"^Y 结构设计 J1tzHa6 TEA评价 m0|Ae@g~3 FMM评估 >v1 y 0zx 高度标度(公差) #7] o6 Jh$"f r3 通用设置 Any Zi' Dd0Qp-:2 CZJHE> 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 T9z4W]T 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 .]j#y9>&w% -@ZzG uS( Ht|",1yr+ 纯相位传输设计 j|[(*i%7| $5lW)q A
/v"6BU xd^&_P$= 结构设计 ]*2EK9< [jl2\3*
MSZ!W(7,< gX@nPZjg u0XP(dH 更深的分析 Ecxj9h,S •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 +{xMIl_ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 R}DX(T,K •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 dD/t_ {h uxa=KM1H
'7xxCj/* %Kh2E2Pe 使用TEA进行性能评估 7qP4B9S
rI0)F
VQ`,#`wV >Hih 使用FMM进行性能评估 h?0F-6z 5<89Af&&K8
$sEB'>: })@tA<+ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 -<Jq QXdaMc+Ck
CI,lkO|C U;\S(s} 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Z^s+vi aXe{U}eow
X[V?T>jsM k/G7.)C 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 sNm,Fmuz: CN7k?JO<
6|,e% ZA0i)(j*Mn VirtualLab Fusion技术 16I&7=S, }6).|^]\'
QhsMd-v On=u#DxQ 更多阅读 dM Y
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