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摘要 ) Gh"(]-< :Fm;0R@/k 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 IlN9IF\9L
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XFUl V;ek 设计任务 ~C\R!DN, JS1$l+1 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 1 }%vZE2
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 j(AN ] g: G\ @ uj>Z 光栅级次分析模块设置 o $7:*jU D
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 8'
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 :D|"hJ
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 +*Y/+.4WE$
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 dfAnO F"-
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 >> yK_ yg
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 C @3a/<6m 衍射分束器表面 5?9K%x'b
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 K x==vq%39
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R~TzZ(Ah] 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) X`
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ]@LeyT'cY
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 WD.t d
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 1X. E:
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 {HoeK>rd ~nLE?>x|Z 光栅级次和可编程光栅分析仪 L Gu K@^
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 Ix~_.&
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 re}_+sv U
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设计与评估结果 'Z ;8-1M?O
相位功能设计 dZMf5=tb
结构设计 hJ|zX
TEA评价 U phme8SX
FMM评估 vT1StOx<V
高度标度（公差） *n]f) Jc +hiskV@ v 通用设置 ~| CWy
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 kxvzAKz~
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 Pk{eGG<F$ kz3 0! L ;-]' OiS;
纯相位传输设计 L[s7q0 F`l cJ^{iOQ+
 k4i*80 2?c##Izn 结构设计 LZR
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更深的分析 Sj(5xa[
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 \5
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•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 :)*+ aS"
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 $:l>g)c
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 f$y`tT %o k.5(d.*( 使用TEA进行性能评估 `AcUxnO
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r `;_ #&b 使用FMM进行性能评估 ,h<xL-
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 ~vPR9\e '73g~T%$^* 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 >))f;$D=
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