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摘要 [SU;U['7 1}ws@hU 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 pI1IDu*_Z ^:Fj+d
jAak,[~; <KBS ;t="1 设计任务 v?(z4oOD/> yz^4TqJ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 XS=f>e1<W /|>?!;
sny$[!) yyM`J7]J 光栅级次分析模块设置 (Q}ByX BI+x6S>d n<e1=L 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ,C0D|q4/!. fxknfgbg
=buarxk xv~Sk2Z+d t 09-y 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 K@tEL Yb 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 _0"s6D$ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 c'SjH".[ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 pMd!Jl#(N
D-LQQ{!D5
cy0j>-z 衍射分束器表面 mjKu\7F zx7A}rs3oX
%>Mcme>(W TlD^EJG 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 aRy" _dZ2 1|:'jK#gE
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SvQ!n4 $ :QIf0*.O 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA)
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lf#5X)V Dg*'n 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >~jl0!2z@ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 IO7cRg'-F 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 j937tn!Q q\xsXM
;$3epP CbFO9q 光栅级次和可编程光栅分析仪 i?861Hu m-]F]c=)w<
P"+R:O\!g 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 o:`^1 RQU-]qQ8BM ogqKM_ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 AnoA5H 2=,d.1E3d |E&|6h1 设计与评估结果 wRg[Mu,Q5 相位功能设计 s9SUj^ 结构设计 +V;d^&S TEA评价 oiOu169] FMM评估 ^%O$7* 高度标度(公差) Q-J} :U jT`u!CwdT 通用设置 [9yd29pQ] hPuF:iiQ4 .Hg{$SAC(w 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 `4wy
*!] 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 b^A7R{G7 eoJ*?v <?%49 纯相位传输设计 8S5Q{[ ! -.K'rW
' pIC~ Z/q'^PB
p 结构设计 >M^:x-mib D;z!C
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5a4i)I63o O"1HO[ &%tW 更深的分析 JsEnhE}] •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 \F)WUIK •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 t ?05 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 yq!peFu m~4ik1wq
_o&NbDH n`!6EaD 使用TEA进行性能评估 ";^_[n pcQgWjfS
_#we1m bK{ VjXF 使用FMM进行性能评估 {kvxz MRT<hB
{asq[;] 93=?^ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 R
G~GVf ED);2*qP}
7jGfQ _Ud! tK*H 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 (B%[NC6 ) )t]5Ys%;
0Qy L}y2 w-C%,1F,/ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 FI~=A/: OzR<jCOS
Cxe(iwa. ,W;|K 5 VirtualLab Fusion技术 Fl*<N OLV3.~T
U }I#;*F %*RZxR): 更多阅读 tKds|0,j| qyh]v [
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