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摘要 ` _aX>fw /]j^a:#"6t 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 OT0%p) Z$?(~ln
8;6j YI+ clh;%9 设计任务 "&Hr)yyWG 0JFS%Yjw[ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 riR(CJ}Ff ^h\(j*/#X
;~D$rT {zX]41T 光栅级次分析模块设置 e"oTlB o|:c{pwq Zd5Jz+f 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 '0-YFx'U0V umT *
"@z X{^: >$$z 6A[ /< k&[ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 cwuzi;f 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 o6tPQ (Vi 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 6ChFsteGFr 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 XHU\;TF 3rVfBz
vtq$@#?~ b 衍射分束器表面 O&dBLh!G c@3mfc{
7|5X> yt g.Tc>?~ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 8)lrQvZ dGyrzuPJ
\sBXS. XGuxd
1=Z!ZY}}e zmU@ k 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) /4*Y#IpZ }u9#S
"(r%`.l=I w73?E#8 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 #x qiGK 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 [#=IKsO'R6 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 xa.tH)R O8OAXRt/Y
9tX+n{i 5JHWt<n{P 光栅级次和可编程光栅分析仪 KomMzG: 6hMKAk
2E8G5?qe) 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 f8
BZk h v,C~5J3h) Ol B9z 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 o%bf7)~s &~Pk*A_: k#bG&BF 设计与评估结果 WkiPrQ0]: 相位功能设计 TjDtNE 结构设计 o\F>K' TEA评价 /GVjesN FMM评估 0-~s0R89A 高度标度(公差) X% )~i[_DV ^,0Lr$+ 通用设置 =z;]FauR! Vm8@LA CT5s`v!s 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 oYdE s&qq 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 G^N@r:RS {,i-V57-h
tKS[ 纯相位传输设计 IU<lF) PF$ dQ:F 5|p
m}u)C&2> @I}VD\pF 结构设计 cnS;9=,& n$N$OFuO
41R6V>e@9J WW.@S5 Ui!l3_O 更深的分析 51JB,}dGH} •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 aZ$5" •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 x!fG%o~h •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 CIz0Gjtx6m V3#ms0
Gbjh|j= JOpH
Z? 使用TEA进行性能评估 )=sbrCl,C/ ' Ut4=@)
}% f7O iMt3h8 使用FMM进行性能评估 .b+ix=: O^3kPVr
]iGeqwT E_En"r)y 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 2cUT bRm F$(ak;v}
8 eK 8-R$ 5L:-Xr{ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ^ZO! ( zPND$3&'
WB?HY?[r *2u~5Kc< 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 /W)A[jR zxx\jpBBk
|dqHpogh GLyPgZ`| VirtualLab Fusion技术 k'PvTWR +^lB"OcOX@
3ZI7;Gw C6[W/,eS 更多阅读 ) jH`lY) 1 GE(~d '
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