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摘要 O]%Vh
l fUa[3)I 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 %Qy9X+N: D'Y=}I)8Dn
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+X,oxg F,/yK-9 设计任务 1vUW$)?X P{%R*hb] 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 9ELRn@5. y_}jf,b4
/& wA$h D+('1E? 光栅级次分析模块设置 s8|Fe_ d[$YTw a`_w9r+v 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 qfa[KD)!aB 5KRI}f
C[s='v~} /6yH ,{(a Q5>]f/LD 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 %IHra6 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 m(p0)X),_i 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 /\u1q< 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ^;mnP=`l[ *7G5\[gI$
8c5%~}kG 衍射分束器表面 YT\.${N R/@n+tbe
WNWtQ2] #xfPobQ>il 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 B(qwTz 51 |tdsg
9KDm<Q-mf Zg/
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8rpr10;U *4?%Y8;bF6 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) cByUP#hW 3iBUIv
DhzmC <g'0q*qE 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 `|f1^C^ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 8Y&_X0T| 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 @lTd,V5f F%`O$uXA
z-G*:DfgH #s3R4@{ 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~xU\%@I\ /\d@A B^5I
w*krPaT3 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 :3.!?mOe2 'NSfGC%7R h}yfL@ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 +5qY*$dn f/UIpswrZ' I/Q~rVt 设计与评估结果 ^+rI=c 0 相位功能设计 N%fDgK 结构设计 Uo=_=.GQ TEA评价 ]y~"M FMM评估 EN;4EC7tE 高度标度(公差) *r].EBJ\ U_<k*o@: 通用设置 c%5Suu(J6 ).8NZ
Aj uow{a*qd6 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ,FWsgqL{l 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 |0xP'( 33OkYC%e $_Q]3"U 纯相位传输设计 Y20T$5{# cNiNLwc
"`Y.5. *:8,w?Nt 结构设计 't'2z yt1dYF0Xq
\VHRI<$+5 .F/0:) Wh^wKF~% 更深的分析
7;$[s6$ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ujh`&GiB+ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 _FP'SVa}D •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 5m9;'SF Q(/F7"m
iG+=whvL 2}U:6w 使用TEA进行性能评估 8om)A0S y@9ifFr
e7M6|6nb }E#1Z\) 使用FMM进行性能评估 2aJ_[3p/h] |C}= 1
|G(I,EPag ]^I[SG, 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 B~47mw&b } T&~DVM
2!?=I'uMA /5m ~t.Z9M 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _ pO1XM wkKSL
A?"/ >LM q*7:L 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 hGbSN_F 1-~sj)*k
YSux#*#H T0"q,lrdxV VirtualLab Fusion技术 U?A3> ].
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