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摘要 xKb"p4k9d ;Z4o{(/zU 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 |!xpYT: K%PxA#P}
zLK\I~rU! gDv$DB8- 设计任务 Of#K:`1@ 6qDfcs 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 _4!{IdR VWD.J
6WO7+M;z ig$jKou
F 光栅级次分析模块设置 C d|W#.6 yl]UUBcQ !%wdn33" 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ?rQc<;b (Xj.iP
=1/q)b,p) $W*|~}F/Ap b"&E,=L 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 #!L%J<MX 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 hk.yR1Y| 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 /4-}k 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 AI~9m-,mE B5
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"8?TSm8 衍射分束器表面
(:l(_-O *.3y2m,bZ
:t%)5:@A "4RQ`.SR 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 tJz^DXqAc [n!x&f8Xh
LGfmUb-{] ?^F5(B[+Y
!h*B (,
aH 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 8J):\jAZ6 ^X^,>Z|
jNIUsM8e 6: GN(R$0 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ~hzEKvs 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 wcl!S { 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 h&P
{p _Y &8afl"_~
@'Q%Jc( +xq=<jy 光栅级次和可编程光栅分析仪 d9|T=R ~Zu}M>-^c,
-aT=f9u 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 {>A
8g({i %pqL-G @~hz_Nm@8 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 l:x_j\
C6CGj8G 38"cbHE3 设计与评估结果 ,.h$&QFj; 相位功能设计 {RH*8?7 结构设计 'cYQ?; TEA评价 #]igB9Cf)w FMM评估 n-W?Z'H{r 高度标度(公差) Z<I[vp6{ o:4CI 通用设置 '/dTqg*W ^h`!f vyH Y6+k9$h 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 sb 8dc 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 hg{ &Y(J!U XA?WUR[e V.U|OQouT 纯相位传输设计 unpfA#&!" F-$Kv-f
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Ol 1BTgGF 结构设计 NPP3(3C nwhm[AaNs
Y5Ft96o))x u^!&{ q >d'EInSF 更深的分析 -}NAb^d •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ?F9hDLX •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 [q
w •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 k -io$ s!NisF
"i}Z(_7yr 7G?Ia%u 使用TEA进行性能评估 )ynA:LXx j\nE8WH
gW/QFZjY bU:V%B?=] 使用FMM进行性能评估 ^GrNfB[Qu G[y&`Qc)G
1k*n1t): </8be=e7p 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 #*[,woNk }rFTh I
\\y}DNh 2&suo!ig 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 S.qk%NTTD ,HQ1C8
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gz!NE S$Ns8= 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 M}R@ K;%
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-WQ_[t9l XB6N[E VirtualLab Fusion技术 k];L!Fj1 *7)S%r,?
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