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摘要 u{&#Gci
B!1h"K5.($
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 6aKfcvf & ^Lv )){t 设计任务 TPVB{
107
HCw,bRxm
 Nw yNl k~*%Z!V}C 光栅级次分析模块设置 *Wf Qi8 dh_c`{9 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ?$#P
=VK
Y94S!TbB
 s_}`TejK G!+Mu2 将传输函数转换为结构 a"&cm'\lL
{fJCj152. 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 H128T8?r[ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 u|cP&^S 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 66-tNy 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 3EHB~rL/C
'+\t,>nRkl
 2ck0k ,WP 1Qw_P('} 衍射分束器表面 @`qB[<t8:<
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 E=Vp%08(
waU2C2!w 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ~jzjJ&O&
V8#NXU g<!
 {1gT{2/~@ wYr* ('uT 光栅级次和可编程光栅分析仪 U C_$5~8p
Z~].v._YV)
 @nAl*#M*D 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 < 0YoZSNGj
GVhy
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Y] tbwOle
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 Cu!]-c{
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 O7p=N8 V 设计与评估结果 /+1(,S - 相位功能设计 3W%j^nM - 结构设计 m VFo2^%v - TEA评价 ]tzF
Ob - FMM评估 c]n"1YNm - 高度标度（公差） *E]: VZl
7Ie=(x8): 纯相位传输设计 rsq?4+\
_N=f&~T
 O4Q"2 0U~*u DU 结构设计 H'JU5nE
dyk(/# *7W
 )xi u
\rC uj zfy 进一步分析 f!{@{\ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 D *j^f7ab •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 p{}4#+-<#H •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 w {"1V7|
(k8}9[3G
 px*1 3" ,ga6 使用TEA进行性能评估 i4]oE&G
g+5c"Yk+u~
 ({Pjz;xM ^,,}2dsb> 使用FMM进行性能评估 0)M8Tm0$ s <rV1D
 TkJ[N4'0 gq"d$Xh$x7 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 x H&hs$=
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c7f{ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ""Da 2Md
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