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摘要 Zx ebv# 4
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 (?z?/4>7< `B %%2p& 设计任务 K~L&Z ?~|E
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FU! 光栅级次分析模块设置 \e86'& f_c\uN@f 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 U0&myj 8L
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 f"Sp.'@ ?8~l+m6s$ 将传输函数转换为结构 kV'zA F
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/YJo"\7 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 !>4 8`o ^ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 <cTX;&0= 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 $kUB%\` 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 q{w|`vIb
! tq]kKJ3:
 a%%7Ew ? ;[y( 14g 衍射分束器表面 ![z2]L+TB
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zyPb\/ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 9v RLM*9|
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 [4"(\r\ f u62H+'k}F 光栅级次和可编程光栅分析仪 :<g0Ho?e
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 6wp 1 jN 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 B-
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 {
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例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ) @! fLA T 设计与评估结果 aE0R{yup Z - 相位功能设计 \GEz.Vb - 结构设计 2J=`"6c - TEA评价 %pVsafV - FMM评估 AZ.QQ*GZ#y - 高度标度（公差） 0moA mfc
jf)cDj 2 纯相位传输设计 EjfQ F C
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vO$g 结构设计 lw3H
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 W3~u J( 5WI
bnV@ 进一步分析 /Xi 21W/ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 <y7{bk~i •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 p&I>xu8fl •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 q{h,}[U=
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 #`y[75<n n[>hJ6 使用TEA进行性能评估 du$lS':`
h1S) B|~8
 [pU(z'caS FWu:5fBZY 使用FMM进行性能评估 P4B|l:
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D : =mL p g4 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 &en2t=a
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 ]#NfH-T UXji$|ET6 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6"iNh)
C9 +rrc@4
 +788aK,{# YC;@ ^ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 u>;aQtK~
q25 p3
 }V ]*FCpQ L{~ ]lUo VirtualLab Fusion技术 2<*"@Vj
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 cEf"m ?w ], Bafz)4 文档信息 ,m*HRUY
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