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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 前天 15:00
    摘要 Z&JW}''n|F  
    Zo-s_6uC  
    *2=:(OK  
    &R\ .^3  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
    r\ ` R$  
    1wE~dpnx  
    设计任务 amlE5GK;  
    \W??`?Idh  
    Q4CxtY  
    HQQc<7c ",  
    光栅级次分析模块设置 %$!}MxUM  
    C1r]kF  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 E"pq ZP =  
    > 9i@W@M  
    =WFMqBh<`  
    i^Ep[3  
    将传输函数转换为结构 uJF,:}qA  
    ^|>vK,q$I  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 B~caHG1b  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 BT`D|<  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 `<b 3e(A  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。       ;}=v|Dr&I.  
    **fJAANc  
            
    o_b j@X  
    `fY~Lv{4d_  
    衍射分束器表面 WnvuB.(@3  
    +>44'M^Z|(  
    6_^ u}me  
    a}hpcr({?  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \_De( p  
    }yK_2zak5i  
    ;]KGRT  
    TL1pv l  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 P7 H-Dw  
    ]y2(ZTNTs  
    7K {/2k  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ZiSy&r:(  
    ) e;)9~  
    5ok3q@1_]{  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 Y \& 4`v'  
    例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
    C-@@`EP  
    设计与评估结果 ,*bI0mFZ  
    - 相位功能设计 Nye Ga  
    - 结构设计 &t5pJ`$(Cy  
    - TEA评价 600-e;p  
    - FMM评估 #T99p+O  
    - 高度标度(公差 [8^j wnAYS  
    Y"K7$+5#\  
    纯相位传输设计 RI')iz?  
    BYqDC<Fq  
    N|h`}*:x=  
    _E{SGbCCi  
    结构设计 B+`m  
    4["$}O5  
    _`+ !,kG[  
    K9m L1[B  
    进一步分析 {I@@i8)]  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 :eo2t>zF-<  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 :cnH@:  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 eg3zp gZ  
    WW:@%cQ@  
    q-KN{y/  
    v< xe(dC  
    使用TEA进行性能评估 7;dV]N  
    DQ?'f@I&*  
    D`o* OlU  
    _W@q%L>  
    使用FMM进行性能评估 ^}ngb Dn  
    )U6T]1  
    JcvWE $  
    [@eNb^ R  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 h:Q*T*py  
    $-|`#|CBd  
    &DYHkG  
    exiCy 1[+  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 /(bPc12  
    Sy6Y3 ~7  
    =nh/w#  
    j,K]T J  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 .,)NDG4Q  
    po}Jwx!  
    DB We>Ef(  
    frWw-<HoI  
    VirtualLab Fusion技术 npkE [JE:  
    f\nF2rlu  
    L%# #U'e3  
    il(dVW  
    文档信息 v/ dSz/<]  
    ?\L@Pr|=Dr  
    QmvhmsDL  
    YLVIn_\}  
     
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