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摘要 RHwaJ;:)#
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 VX^o"9Ntl }A4nJ>`tq 设计任务 :M2 2P`:
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$w^%I ,&.W6sW 光栅级次分析模块设置 >H0) ph f {y] 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 <`R|a *
2PVx++*]C
 x],8yR)R ?w+ QbT 将传输函数转换为结构 !;o\5x<'$O
May&@x/oMS 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 K<@[_W+ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 le7
`uz!% 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 O^.%C`* 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 cS<TmS!
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 xn (+G$m D9 qX->p 衍射分束器表面 )t|^Nuj8
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JN9^fR09G 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) HQq`pG%m6
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 v"z (JF x}tKewdOSe 光栅级次和可编程光栅分析仪 H4M{_2DO
s~S?D{!
 z>4 D~HX 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 Tr}R`6d$
U?bG`. X
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 B|cA[
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 p/r~ n'g$ 设计与评估结果 X ?tj$ - 相位功能设计 B{ s]juPG - 结构设计 rm OQ{2} - TEA评价 H76E +AY - FMM评估 |q3f]T&+>{ - 高度标度（公差） `vudS?
9'1hjd3k 纯相位传输设计 p1+7 <Y:
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 (~S<EUc$ :@.C4o q 结构设计 (nGkZ}p
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 L >SZgmV+ g^1r0.Sp{8 进一步分析 c v3L&zg M •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 A:/}` •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 vCj4;P g •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 7'Lp8
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 UmJUt| &GuF\wJ{7 使用TEA进行性能评估 VSh !4z1
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 hHpx?9O+! B$ui:R/ t 使用FMM进行性能评估 [q'eEN G @8|Gh]\P
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hgqS ei@3,{~5 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'GkvUrD9D$
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 {gsW(T>)
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 "=qv#mZ#9 3)Zu[c[%'J 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 (v!mR+ \x
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