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摘要 ^sw?gH*
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 U6K|fY N` w{KavU5W 设计任务 Da|z"I
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AH^/V}9H
 80I#TA6C ^c|/*u 光栅级次分析模块设置 kmW4:EA% s<Ziegmw|g 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Ac@VGT :9
^[[P*NX3
 ]Um/FA W Hs8>anVo[ 将传输函数转换为结构 j%kncGS
Nb\4 /;# 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 K1KreYlF 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 By |4 m 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Xvu(vA 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 [JiH\+XLPs
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 4Z*/Ws Cv X'sr L j. 衍射分束器表面 %J(:ADu]
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~ljXzD93Z 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) fhiM U8(&
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 54 T`OE
= Hl"N} 光栅级次和可编程光栅分析仪 (QEG4&9
0mE 0 j
 [0!( xp^ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 y( # e}z:
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j#|ZP-=1_
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 |Cv!, ]9:r
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 K;?+8(H 设计与评估结果 p K*TE5] - 相位功能设计 >MZ/| `[M - 结构设计 B,@i - TEA评价 Txu/{ M, - FMM评估 cuX)8+ - 高度标度（公差） { 6il`>=C
Ok etwa 纯相位传输设计 2y4bw i
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 [agMfn i-1op> Y 结构设计 MgZ/ (X E
L(-4w+
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) 进一步分析 I9^x,F"E] •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 e\rp)[> ' •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 #!=tDc
& •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 wY ea\^co
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 8*X4\3:*N KI .unP% 使用TEA进行性能评估 0GL M(JmK
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 ^iA9%zp UKGPtKE< 使用FMM进行性能评估 h[ ZN+M 4eu O1=
 X}]-*T|a JF]JOI6.e 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 (Ld i|jL
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 gY j'(jB 9c],<;{' 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 y =@N|f!
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 U$g?!Yl0 /v }`l 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 z:O8Ls^\T
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