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摘要 B|\JGnNQ \C{Dui)F
YLXLaC[ xX !`0T7Y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 dnwTD\), Ym% $!# 设计任务 `j#zwgUs pA%}CmrMq
l+ ,p= v[7iWBqJ 光栅级次分析模块设置 L'Yg$9 Vz @~=*W5 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ,H)v+lI Ri
k4C3SI*`4 Mzg zOM 将传输函数转换为结构 $yn7XonS pftnFOLO 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 04j]W]8# 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 u# TNW. 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 AT:L&~O. 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 .S_7R/2(? +!~"ooQZh
Tqf:G4! wB(X(nr 衍射分束器表面 < NRnE8: k#g` n3L
{py"Ob_ g7UZtpLTm 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &E?TR
A# E & FpoMW
R9&3QRW| /&i6vWMhP 光栅级次和可编程光栅分析仪 mEZHrr J w-j^jU><3
im&Nkk4n@ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 hNRN`\5Z <G_71J`MLC |Wg!>g! 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。
Nd h 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 #iiXJnG 设计与评估结果 "!B\c9q - 相位功能设计 ?onEqH> - 结构设计 0'ge}2^
- TEA评价 v;sWI"Fv! - FMM评估 e~ZxDAd - 高度标度(公差) )z_5I (?& 3
,f3^A 纯相位传输设计 9*2Q'z}_ .WVIdVO7
AX] cM)w 2PC:F9dh\ 结构设计 xE5VXYU M{jJ>S{g
s/0bXM$^ q&kG> 进一步分析 0t?g! •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0aqq*e'c •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 o}=c(u •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 bIXD(5y ?dyt!>C
'!"rE1e ILIv43QKM( 使用TEA进行性能评估 M#.dF{%% J(Fk@{!F.*
z^o7&\: v:gdG|n" 使用FMM进行性能评估 ) E*- yTR5*{?j
pM-mZ/? ~hb;kc3 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 .^wBv
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v@,`(\Ca' i3vg7V. 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 "9#hk3*GqX }p>l,HD
bHg 0,N { ^Rr:+ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 pD]2.O pN{XGkX.
l:OXxHxRi s_P[lbHt. VirtualLab Fusion技术 -HvJ&O.V$ K?u:-QX^
u`"Y!*[ - ao"Z%#Jb~ 文档信息 ^[VEr"X
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