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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-19
    摘要 B|\JGnNQ  
    \C{Dui) F  
    YLX LaC[  
    xX !`0T7Y  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
    dnwTD\),  
    Ym% $!#  
    设计任务 `j#zwgUs  
    pA%}CmrMq  
    l+ ,p=  
    v[7iWBqJ  
    光栅级次分析模块设置 L'Yg$9Vz  
    @~=*W5  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ,H)v+lI  
    Ri   
    k4C3SI*`4  
    Mzg zOM  
    将传输函数转换为结构 $yn7XonS  
    pftnF OLO  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 04j]W]8#  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 u# TNW.  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 AT:L&~O.  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。       .S_7R/2(?  
    +!~"o oQZh  
            
    Tqf:G4!  
    wB(X(nr  
    衍射分束器表面 < NRnE8:  
    k#g` n3L  
    {py"Ob_  
    g7UZtpLTm  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &E?TR A# E  
    &FpoMW  
    R9&3QRW|  
    /&i6vWMhP  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 mEZHrr J  
    w-j^jU><3  
    im&Nkk4n@  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 hNRN`\5Z  
    <G_71J`MLC  
    |Wg!> g!  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 Nd h  
    例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
    #iiXJnG  
    设计与评估结果 "!B\c9q  
    - 相位功能设计 ?on EqH>  
    - 结构设计 0'g e}2^  
    - TEA评价 v;sWI"Fv!  
    - FMM评估 e~ZxDAd  
    - 高度标度(公差) )z_5I (?&  
    3 ,f3^A  
    纯相位传输设计 9*2Q'z}_  
    .WVIdVO7  
    AX]cM)w  
    2PC:F9dh\  
    结构设计 xE5VXYU  
    M{jJ>S{g  
    s/0bXM$^  
    q&kG>  
    进一步分析 0t?g!  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0aqq*e'c  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 o}=c (u  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 bIXD(5y  
    ?dy t!>C  
    '!"rE1e  
    ILIv43QKM(  
    使用TEA进行性能评估 M#.dF{ %%  
    J(Fk@{!F.*  
    z^o7&\:  
    v:gdG|n"  
    使用FMM进行性能评估 )E*-  
    yTR5*{?j  
    pM-mZ/?  
    ~hb;kc3  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 .^wBv 'Y  
    "#.L\p{Zy  
    v@,`(\Ca'  
    i3vg7V.  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 "9#hk3*GqX  
    }p>l,HD  
    bH g 0,N  
    {^Rr:+  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 pD]2.O  
    pN{XGkX.  
    l:OXxHxRi  
    s_P[lbHt.  
    VirtualLab Fusion技术 -HvJ&O.V$  
    K?u:-QX^  
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    ao"Z%#Jb~  
    文档信息 ^[VEr"X  
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    EY@KWs3"H  
     
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