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摘要 $x_6
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 #H]b Xr d V+%x"[: 设计任务 iaShxo IV
] Tc!=SV
 F!v`. _] #=6A[<qX 光栅级次分析模块设置 /58]{MfrJ [AAG:` 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 %4X#|22n
)Rhy^<xH
 l+# l\q%l &+t! LM 将传输函数转换为结构 Bl,rvk2
~` J/618 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 NpS*]vSO 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 -9 Iz$ (>a 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 MF+J3) 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 N^,@s"g
P}=u8(u
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"f tnx)_f 衍射分束器表面 j1{ @?
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?$ rSbw 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) i={ :6K?^
dQh h,}
 }jj @A !N 5_4Y/2_| 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;Dl< GW3<
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 S;0,UgB1 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 SSi-Z
B o@B9/ABv
;Od;q]G7L
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 P( z# Wk
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 We^! (G 设计与评估结果 ] r8
hMv - 相位功能设计 li>`9qCmI - 结构设计 "wk~[> - TEA评价 gQpF(P - FMM评估 7|~j=,HU+Z - 高度标度（公差） l}|KkW\y
[/.5{|&GSt 纯相位传输设计 )ESF)aKMiz
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 m%8idjnG h/9{E:ML 结构设计 W'2a1E
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 @S3G> i J{98x zb 进一步分析 E1,Sr?' •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 &p\fdR4e •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 ?sb
Ob •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 idL6 *%M
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 D;@ * }*+?1kv 使用TEA进行性能评估 Nr.maucny
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<|= U rG 使用FMM进行性能评估 2i+'?.P YyR)2j1O
 UL0%oJ# Mx,QgYSu 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 {Mt4QA5iZ
tz(\|0WDQ
 ,X Zo0 ! Yh%a7K 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 79:Wo>C3-
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 _C ` cO k(n{$ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~.4-\M6[
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