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摘要 9!6u Yf+
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 wIF)(t-): n.1$p
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 m[Qr>= " b6'ZVB 设计任务 5T r c#i<\
tD]vx`0>
 !ozHS_ +B4 i,]lCx 光栅级次分析模块设置 %4w#EbkSS }U**)" 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 9/O\769"'
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 h O(A_Bw QG09=GQ 将传输函数转换为结构 @`HW0Y_ :
_SQ] \Z 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 /L` + 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 %
xBQX 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 4! Lj\ .!$ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 QV _a M2
y~ wN:
 :* J! 5w</Ga 衍射分束器表面 kuv + TN
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 <M\#7.](
+aOX{1 w 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) .<6 '*X R
/=KEM gI?
 4"Mq]_D t5EYu* 光栅级次和可编程光栅分析仪 KnUVR!H|
e)|5 P
 c`7 dNx 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 {ApjOIxk
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 O66b^*=N}x
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ,6x>gcR 设计与评估结果 ;;Jx1Q - 相位功能设计 :%IB34e - 结构设计 =@MJEo` D - TEA评价 aX.//T:':? - FMM评估 `Cz_^>]|= - 高度标度（公差） ,m5tO
R HmT$^= 纯相位传输设计 1}OM"V
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 P3 TM5 6Z{(.' Be 结构设计 RT[ E$H
eqqnR.0
 'v5q/l yE R 进一步分析 0Q[;{}W} •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ]qiX"<s>~C •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 i ~rb-~o •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 BVS
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 X5=I{ eY} p,7?rI\ N 使用TEA进行性能评估 h79~d%-
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 Myh?=:1~(c Xi!e=5&Pa 使用FMM进行性能评估 X5+$:jq& N: 5 N}am
 ]6,D 9^{; s $ ?;C 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 n_*. i1\'w
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 $5>m\wrl j2mMm/kq\ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 xxOhGA )
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f T[2<_ nn= 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 FhQb9\g
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