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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-19
    摘要 VB\oK\F5z  
    42mdak}\  
    *G^ QS"%  
    KnKV+:"  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
    iphe0QE[#}  
    wUab)L  
    设计任务 s#>Bwn&b)  
    qlO(z5Ak  
    *22}b.)  
    J"# o #~  
    光栅级次分析模块设置 4$C:r&K  
    UT%^!@u  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 qhc3 oRe  
    zrri&QDF<  
    &Nl:  
    l-g+E{ZM  
    将传输函数转换为结构 =otJf~  
    ?"\X46Gz;  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 yc?+L ;fN  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 {fmSmD  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ^h1EE=E"  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。       Hn+w1v&3  
    @|sDb?J  
            
    D=i)AZqMPp  
    Q)#+S(TG  
    衍射分束器表面 8SR~{  
    %3!DRz  
    Yjx*hv&?  
    %#7Yr(&  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) XDRw![H,~  
    : A9G>qg  
    hi^@969  
    $# klgiL  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 PRa #; Wb  
    !lpKZG  
    *EY^t=  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 )2~Iqzc4  
    R9%Um6  
    lu2"?y[2  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 . Lbu[  
    例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
    7#wdBB%  
    设计与评估结果 ZUPlMHc  
    - 相位功能设计 uY{V^c#mv  
    - 结构设计 U51C /A  
    - TEA评价 /i.3v45t"  
    - FMM评估 8&+m5x S  
    - 高度标度(公差 LX5, _`B  
    HY|=Z\l"  
    纯相位传输设计 aAJ'0xnj  
    SFP%UfM<  
    b}s)3=X@q  
    >LS*G qjq  
    结构设计 >..C^8 "  
    :.u[^_   
    ksb.]P d.  
    bruM#T@}  
    进一步分析 x"7`,W  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ] /w: 5o#  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 fdk]i/*)  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 *%6NuZ  
    vOMmsU F  
    =GGt:3Kx-  
    j6@5"wx  
    使用TEA进行性能评估 N3O~_=/v?  
    iPoh2  
    _\mMgZu  
    ?7n(6kmj4Q  
    使用FMM进行性能评估 eksYIQZ]  
    )}`3haG  
    `GGACH3#s  
    $d:>(_p=A  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 HH`G/(a  
    n\CQ-*;l  
    ;G 27S<Q  
    wlvhDJ  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 AiMD"7 )c  
    oz54IO  
    ~ 8hAmM  
    YTWlR]Tr6?  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 r0 mXRZC  
    #A&(b}#:o  
    X0IXj%\N  
    srX" vF  
    VirtualLab Fusion技术 ~k}>CNTr  
    TttD}`\.  
    <0?h$hf4c  
    ~i3/Ec0\  
    文档信息 MGoYL \  
    MJxTzQE  
    ?=C?3R  
    Ry5/O?Q L  
     
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