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摘要 ~}p k^FA |UlR+'rl
Z%ZOAu&p ^y ', l 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 WxD$k3U xS/=9l/G 设计任务
h8p{ JcP<@bb>B
YH%U$eS#g ;7E"@b,tPN 光栅级次分析模块设置 MW^FY4V1m hC{2LLu;n 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
tculG|/ _{^F8
9\Rk(dd |@b|Q, 将传输函数转换为结构 2>x[_ z,C>Rh9Id 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 gBI?dw 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 _u_|U 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 LfrjC@_y 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 FB+nN5D/ @DM NLsQ
h\)ual_r[j 4u|6^wu.I 衍射分束器表面 gQ '=mU MD1d
M>RLS/r>d {az
LtTh 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) _6n za)OFH h9c7P@29
e6gj'GmY c7?|Tipc 光栅级次和可编程光栅分析仪 >i1wB!gc8 JP]4* l
xU.Ymq& 5 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 :SF8t` 4` {[H#lX 4 s5d[sx 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 Bt\V1 ) 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ;rCCkA6 设计与评估结果 UU =,Brb - 相位功能设计 xr)m8H - 结构设计 6NFLk+kqN - TEA评价 tnmz5Q - FMM评估 7V\M)r{q7 - 高度标度(公差) X~; *zYd5 <C*%N;F5R 纯相位传输设计 ,qgR+]?({ Tc;BE
OJcI0(G k|_
>I 结构设计 cz>`$Zz !G~\9
?0E-Lac= .|kp`-F51 进一步分析 U@:iN.. •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 uUG &At •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
C%Op[H3 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 n lvDMZ ~Oj-W6-+&,
A56aOI= yF&?gPh& 使用TEA进行性能评估 8\Z/mU*4 +7)/SQM5
!jJH}o/KW f9E.X\" 使用FMM进行性能评估 MdNV3:[ \ p7)b@,
+@oo8io O~g0 R6M6e 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 0l %|2}a RE:$c!E!
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i\a[3 m`ab5<%Gn 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 t3$+;K( Ne,u\q3f
p>]2o\[" aib)ItNb 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~dqEUu!C %8GY`T:^
6JL:p{RLi ma M8:\ VirtualLab Fusion技术 )wYbcH 1G+?/w
Ax+q/nvnb U5wO;MA 文档信息 t[L'}ig!q n\y%5J+
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