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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 05-19
    摘要 9!6u Yf+  
    Sy^@v%P'A  
    wIF)(t-):  
    n.1$p  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
    m[Qr>="  
    b6'ZVB  
    设计任务 5Trc#i<\  
    tD]vx`0>  
    !ozHS_  
    +B4i,]lCx  
    光栅级次分析模块设置 %4w#EbkSS  
    }U**)"  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 9/O\769"'  
    \4uj!LgTb  
    hO(A_Bw  
    QG09=GQ  
    将传输函数转换为结构 @`HW0Y_:  
    _SQ]\Z  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 /L` +  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 % xBQX  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 4!Lj\.!$  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。       QV _a M2  
    y~ wN:  
            
    :*J!  
    5w</Ga  
    衍射分束器表面 kuv+TN  
    cZAf?,>u  
    <M\#7.](  
    +aOX{1w  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) .<6'*X R  
    /=KEM gI?  
    4"Mq]_D  
    t5EYu*  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 KnUVR!H|  
    e)|5 P  
    c`7dNx  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 {ApjOIxk  
    _]us1  
    'w_Qs~6~{  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 O66b^*=N}x  
    例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
    ,6x>gcR  
    设计与评估结果 ;;Jx1Q  
    - 相位功能设计 :%IB34e  
    - 结构设计 =@MJEo`D  
    - TEA评价 aX.//T:':?  
    - FMM评估 `Cz_^>]|=  
    - 高度标度(公差 ,m5tO  
    R HmT$^=  
    纯相位传输设计 1}OM"V  
    HaQox.v%  
    P3TM5  
    6Z{(.'Be  
    结构设计 RT[ E$H  
    eqqnR.0  
    'v5q/l  
    yER  
    进一步分析 0Q[;{}W}  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ]qiX"<s>~C  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 i~rb-~o  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 BVS SO's  
    FPu$Nd&\  
    X5=I{eY}  
    p,7?rI\N  
    使用TEA进行性能评估 h79~d%-  
    .L.9e#?3  
    Myh?=:1~(c  
    Xi!e=5&Pa  
    使用FMM进行性能评估 X5+$:jq&  
    N: 5 N}am  
    ]6,D 9^{;  
    s $ ?;C  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 n_*.i1\'w  
    %Hu.FS5'  
    $5>m\wrl  
    j2mMm/kq\  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 xxOhGA)  
    ]N:Wt2  
    _!9I f  
    T[2<_nn=  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 FhQb9\g  
    t"YN:y8-  
    |Gr@Mi5  
    [<nd+3E  
    VirtualLab Fusion技术 'a"Uw"/p[  
    \xmDkWzE  
    p:3w8#)MZ  
    '30JJ0  
    文档信息 zO0K*s.yK  
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