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摘要 Cz r4
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 9]@J*A}=l W}k?gg= 设计任务 Cw[Od"B\?U
#IaBl?}r^
 NB5L{Gf6- v?D
kDnta 光栅级次分析模块设置 mnQjX ? V\K
m% vP 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 z]l-?>Zbg
i %h n
 aI{@]hCo CDW(qq-zD 将传输函数转换为结构 vQYfo am;
K;y\[2;}e, 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 !qXq
y}?w 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 y:|.m@
j1 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 t6bWSz0 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Fm$n@R bX
H]i+o6
 /ik)4]> ;8L+_ YCa 衍射分束器表面 [wy3Ld
;h-G3>Il
 /[|}rqX(
U.pr} hq 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ~e`;" n@4
oX 2DFgz
 QVS si
j => :% n 光栅级次和可编程光栅分析仪 U)` 3[fo
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 `z$u w
光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 e1`)3-f
E%k ]cZ
uF ]D
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 .}$`+h8W T
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 f=_Bx2ub 设计与评估结果 Owh*KY: - 相位功能设计 U= c5 zrs - 结构设计 )-Mn"1ia - TEA评价 hHfe6P
| - FMM评估 o]|oA N9 - 高度标度（公差） KM_)7?`
mq{$9@ 3 纯相位传输设计 [L*[j.r7[
yRq8;@YGY
 r?" }@MRW 4uO
@`0:x 结构设计 oz\{9Lwc
EbBv}9g
 g/U$!d_ Lem\UD$D` 进一步分析 =#.8$oa^ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 f
gK2.;> •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 \]f5 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 P;L)1 g
8"?Vcw &
 gfdPx: 7^ vy{rw Z$ 使用TEA进行性能评估 LM"W)S
xI`Uk8- 8
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]T77r k\mXo-:V6 使用FMM进行性能评估 E,*JPK-A x .*RB~c
t
 0^<Skm27" G_2gKkIK- 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 YZ"+c&V"
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 a2c x =RW*
%8C 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 XI%RneuDr:
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 m {:" 1] KA|&Q<<{@ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ~4MtD f
(B>yaM#5
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