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摘要 P P$2s]{
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 tf 7HhOCYX mW!n%f 设计任务 k^ |z.$+
!H U$V9C
 rfVQX<95=/ RuYIG?J=/ 光栅级次分析模块设置 hfI=9x/ ,gNZHKNq 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 :(ql=+vDb4
sAU%:W{
 ^_3Ey ]cP%d -x} 将传输函数转换为结构 w;}5B~) .
# tA9`! 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 @!oN]0`F; 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 `XE>Td>Bs 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 &)6}.$`
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 @,1_CqV
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 ?jfh'mCA l (rm0_ 衍射分束器表面 LE{@J0r#n
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;taZixOH 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Z< >gx m<
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 % t,42jQ9 J?TC P% 光栅级次和可编程光栅分析仪 X%s5D&gr
): hz /vZ
 CC!`fX6z>h 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 \?v&JmEU
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"+t.ir3
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 MV zj7~+
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 [r>hK ZU2 设计与评估结果 zUJXA:L9 - 相位功能设计
,d/$!Yf - 结构设计 ?;](;n#lU - TEA评价 T_2' =7 - FMM评估 _YR#J%xa - 高度标度（公差） 0^Ldw)C"
EwG+' nlE 纯相位传输设计 X sJ`x
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 X~m57 b j SE(<(w 结构设计 >.P* lT
VB |k
 vh"';L_*37 .T8^>z1/\F 进一步分析 )x [=}0C •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 rMWvW(@@D •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 bS:$VyH6 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ,[p?u']yZz
Bi fI.2|
 NM9Vi Ym>P >h2qam 使用TEA进行性能评估 }mp`!7?>O
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 EhO\N\p(Q= Kc
r)W 使用FMM进行性能评估 #q34>}O< O 5[zr(FuE
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S xF) .S@ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 |af<2(d
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