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摘要 2[yd> (` R29~~IOqO
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Q 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 1&OW4_ (WJRi:NP? 设计任务 t?gic9
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f~[7t:WD* wlvgg 光栅级次分析模块设置 OT*mO&Z @mBQ?;qlK 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 0+ '&`Q!u Ml5w01O
X?',n
1 ?V=ZIGj 将传输函数转换为结构 +sA2WK] q`-N7 ,$T 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 U)gH}0n& 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 _VN?#J)o 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 *fxG?}YT 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 / SB;Von 6gE7e|+
+'a^f5 Avc%2+ 衍射分束器表面 tNI^@xdim1 GxxW&y
t:Q*gWRh Fxz"DZY6 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) t*u:hex q9_OGd|P
\2$|Ei7 ;^*W+,4WB 光栅级次和可编程光栅分析仪 CCx&7f u6agoK|^9
M2Qr(K| 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 yf+)6D -9n a=2%4Wmz 0h_|t-9j 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 zF<R'XP 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 6_Y,eL]" 设计与评估结果 Q2gq}c~ - 相位功能设计 /4Gt{ygSr - 结构设计 :I#V. - TEA评价 :F?C)F - FMM评估 Lf&kv7Wj - 高度标度(公差) /8S>;5hvK@ y)@wjH{6 纯相位传输设计 GTd,n= 77Y/!~kd
7.oM J ]a`$LW} 结构设计 hgq;`_;1, XL^GZ
!Uo4,g6r+ |6-nbj 进一步分析 @yYkti;4- •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 t6c4+D'{]. •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 g_bLl)g< •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 uY To9A
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9(Xn>G'iT UN#S;x* 使用TEA进行性能评估 p_4<6{KEt
0y\Z9+G:
:3 mh@[V %cn<ych
G 使用FMM进行性能评估 {qVZNXDn 2 %]X+`+O
HoAy_7-5 A#,ZUOPGH 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 c+ie8Q! *-X[u:
53h0UL bN.Pex 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Y]a@j! !G|@6W`
uY*L,j^) Lw,h+@0 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 zt%Mx>V@ /$m;y[[
DmcZta8n] =_^X3z0 VirtualLab Fusion技术 i.#:zU%o *qq+jsA6wH
LP=)~K< rm_Nn8p, 文档信息 -?a 26o%e &^nGtW%a 9
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