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摘要 [h-6;.e
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ~k34#j:J65 /D"T\KNWr 设计任务 3}}/,pGSc
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 a>GA=r nC3+Zka 光栅级次分析模块设置 c^= q(V :kHk'.V1( 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 3@=<4$
vGyQ306
 v .W! mywx V 将传输函数转换为结构 r)S:= Is5
W_XFTqp^ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 #:" ]-u^ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 HJr/N)d 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 D&m1yl@\J 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 q t OuA
:fmV||Q
 s>;"bzzq Mzg3i* 衍射分束器表面 9]3l'
~jw:4sG
 iY>x x~V
cPIy D?c 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) GYw/KT~$
KeyKLkg>
 Jha*BaD~N DQhHU1 光栅级次和可编程光栅分析仪 wSjy31
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4Was# 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 cY} jPDH
;2h"YU- b
0(&uH0x
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 M(8xwo- W
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 >]}VD "\ 设计与评估结果 36'J 9h\ - 相位功能设计 b5g^{bzwu - 结构设计 F@/syX;bb5 - TEA评价 8;=?F>]xn - FMM评估 % /zHL?RqJ - 高度标度（公差） AkjoD7.*
&/EZn xl 纯相位传输设计 XXw Ip-'
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 &>B|?d @lB1t=
D 结构设计 Iy5W/QK6
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 JBQ>"X^ j+< !4 0# 进一步分析 <\:*cET3 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 3! ;o\bgK •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 ZbH6$2r •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ?{Xp'D\z
unL1/JY z
 JmF`5 IKp(KlA 使用TEA进行性能评估 ziW[qH {
?fs#K ;w
 AF{o=@ Zf u" 8fX 使用FMM进行性能评估 xT9+l1_ hy"p 8j7_
 jaThS!>v k!@/|]3z 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 YS"76FJ
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 jM@@N. 8/34{2048 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 y(#F&^|
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 I@a7!ugU65 Jf2:[ Mq 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 OQX ek@~2
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 _Q;M$.[zyR \b88=^ VirtualLab Fusion技术 \t&6$"n(B6
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 m4P=,=% j1toV$)P 文档信息 _jb"@TY
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