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摘要 B0 dQ@Hq*
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 BD_Iz A<wK g MWjk7 设计任务 Fcd3H$Na;
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 |=`~-i2W %s|}Fz-> 光栅级次分析模块设置 [RLN;(0n p i
%< Sy 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 kEOS{C%6R
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 dQV;3^iUY b{L/4b u 将传输函数转换为结构 :N4t49i
pWK(z[D 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 &PYK8}pBk3 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 W6? pswQ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 S ?{#r 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 * w?N{.
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 wO'T BP e1%/2 6\ 衍射分束器表面 $8 UUzk
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vk77B(u 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) H *ow\
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"D63I|O)
 7"sD5N/>uh fZ 0M%f 光栅级次和可编程光栅分析仪 $c 0h. t
AgS 7J(^&3
 tnH2sHby 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 dIN$)?aB0
d:BG#\e]v
coW:DFX
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 B8": 2HrW$
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 (gP)% 设计与评估结果 ;j[>9g - 相位功能设计 s/$?^qtyC - 结构设计 c 0,0`+2~ - TEA评价 T ]t'39 - FMM评估 f .Q\Z'S^ - 高度标度（公差） S2HcG
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[:ZS+1 纯相位传输设计 s}w{:Hk,x8
F* IzQ(#HW
 CyS$|E ?}wk.gt> 结构设计 +R3k-' >
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 J!c)s!`w
1eS&&J5 进一步分析 3{'Ne}5%I •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 7m4a o K •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 4!Fo$9 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 |iak z|])
]{3)^axW;
 }AB, 8n` f(/lLgI( 使用TEA进行性能评估 !% CWZZ 6u
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 `=4r+ S0zD"T 使用FMM进行性能评估 /rK}?U HVi'eNgo
 arIf'CG6 MqW7cjg 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 :flx6,7D
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?|,O ;? <c2E 'U)X 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 j'Gt&\4
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 IHB} `e| Bal$ +S 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ]O]4z,n
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 r(:5kC8 K U;YC}r VirtualLab Fusion技术 N-G1h?e4
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