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摘要 FhyA_U%/nF &8^1:CcE
4t<l9Ilp {k#RWDespy 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 |!=KLJUA <s737Rl 设计任务 ?t{ 2y1 ~5xs$ub
::Nhs/B/ z/IZ ;K_e 光栅级次分析模块设置 x(UOt; HN j6Iw 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 oD=6D9c? ~l=Jx*
>FRJvZ6 {q}#
Sq 将传输函数转换为结构 8pQ:B/3= + mqz)-x 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 WV8?zB1 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 NL-<K 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 nYv`{0S+m 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 *Pmk1h2 w=txSF&Qr
L9FijF7 !_|rVg. 衍射分束器表面 fcC?1M[BP~ nU6WT |
@A-^~LoP. pOz4>R 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) "Y7
]t:8 wv ~?<DF
b3,&RUF $7 08\! 光栅级次和可编程光栅分析仪 )^ky @V G \S >H
6a=Y_fma 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 %](H?'H ~D9VjXfL) t#p*{S 3u 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 )/:&i<Q: 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 =:!$'q: 设计与评估结果 V=C@ocyZ - 相位功能设计 bLHj<AX#>| - 结构设计 mN9Uyz5G - TEA评价 t[.wx.y&0 - FMM评估 d/Z258 - 高度标度(公差) 2[*r9%W \3ZQ:E}5 纯相位传输设计 l9 |x7GB l/JE}Eg(
t!g9,xG<X Zy -&g: 结构设计 ^lP_{c wM^_pah#Y5
{c3u!}mW /cy'% .! 进一步分析 L-LN+6r(# •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 #()u=) •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ma\UJz •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 nVTCbV _V9 O,"DDc
_`bH$ 6G<t1?_yD 使用TEA进行性能评估 2g6G\F tv)U 7K0
\xH#X=J Ua@rp3fr 使用FMM进行性能评估 }^Unx W 1D0_k
6!,Am^uXM C^hHt,& 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 `FP)-^A8 3q>6gaTv
_d$0( uF!3a$4] 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 hm%'k~ r~sx]=/
r3@Q(Rb j;tT SNF 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 +P7A`{Ae ]to"X7/
w>IYrSaa> 0,T'z, VirtualLab Fusion技术 gz K"'4` &=sVq^d@qe
<"uT=]wZ= [mSK!Y@u 文档信息 i>9/vwe oRM,_
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