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摘要 Uf2:gLrF
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 'lQYJ0 x rI}3T 设计任务 uPU#c\
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 Z< ]VTo \R Z3Hh 光栅级次分析模块设置 DTy/jaK js m0kz 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 F6&P ~H
Wo3'd|Y~i
 sp{j!NSL 7^wE$7hS 将传输函数转换为结构 <!!nI%NC
}su6izx 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 3^ ~Zj95M 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 6Ct0hk4 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 VM;g +RRq 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 B\zoJg&7(
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 t |=n1\=? B1,?{Ur 衍射分束器表面 *`.LA@bHU
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Wa, 7P2r 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) D pNX66O
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MkPty 光栅级次和可编程光栅分析仪 %*p^$5 L<
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 zKMv7;s? 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 ?o>6S
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 VO|u8Z"
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 J ~' ~[ ,K 设计与评估结果 s
kY0 \V - 相位功能设计 4w9F+*- - 结构设计 E6Q91Wz9f - TEA评价 ]!-R< [b
6 - FMM评估 v?{vg?vI - 高度标度（公差） 4K'|DO|dH
U,d2DAv t 纯相位传输设计 -s33m]a;
: SdIU36
 ,i;9[4 QMX R/ rcXX7% 结构设计 *V<)p%l.
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 x' ?.~ /rOnm=P+Q 进一步分析 C?(y2p`d\ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 i
_8zjj7 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 m]e0X*Kg •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 rr>IKyI'
Iw*C*%}[Z
 du 8!3 I uiuTv)pwF 使用TEA进行性能评估 ^X$
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Qw} xGlF,
 i >J:W"W jigbeHRy 使用FMM进行性能评估 69-$Wn43< &'NQ)Dn
 @X|ok*v ` Px$'(eMj^3 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 L#[HnsLp_
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`H+ H]U "+52h 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 rrbZ+* U
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77WjwQ F61 +n!%8 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 dPRt N@3
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f C@g VirtualLab Fusion技术 rnJS[o0
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 HH+TjX/b ws#hhW3qK 文档信息 W&Y4Dq^
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