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摘要 IkP; i_| 7`J= PG$A
~ugyUpY" wh2Ljskda8 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 >F5E^DY jn]:*i;i 设计任务 $!goM~pZ 5~FXy{ZIH
PfN[)s4F{R K+<F,
P 光栅级次分析模块设置 g1{2E<b5 TCI)L}L| 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 jZgCDA8Mr! R ~? 9+
G`r/ te sW G'T:l("l 将传输函数转换为结构 P,<pG[^K :h8-y&; 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 P$v9 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 *J3Z.fq%:i 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 7-Mm+4O9 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 E$C0\O!7 ms6dl-_t
kYZj^tR GK&R,q5} 衍射分束器表面 ~m3Tq.sYrY 63SmQsv
H;N6X y*~ SnVb D< 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 4Z0Y8y8) u=
Vt3%q
}u.I%{4 aL|a2+P[`q 光栅级次和可编程光栅分析仪 iE#I^`^V tHmV4 H$
/s
Bs eI 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ]$)U~)T
iW glomwny :Izdj*HL;A 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 5}4>vEn 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 TJ>$ ~9&Sy 设计与评估结果 Q#PkfjXS - 相位功能设计 ] p*Fq^ - 结构设计 @a}\]REn - TEA评价 aa&\HDh * - FMM评估 ]6].l$%z# - 高度标度(公差) u}|+p + Z$y~:bz 纯相位传输设计 qS[KB\RN1 h|N!U/(U
$H"(]>~ s:*" b' 结构设计 qa,i:T(w H|z:j35\
g|<$\} <P_B|Y4N/ 进一步分析 ~m&q@ms& •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 UF;iw •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 P( 1Z •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 O0QK `F/)* b G/[mZpRT
M,g$ N4u-tlA 使用TEA进行性能评估 {7^D!lis (3N;-
B qcFbY bj_oA
i 使用FMM进行性能评估 cm`x;[e6l eVRjU
]dL#k>$0q %Wa. 2s 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 *eAzk2 -aQf(=
%YwIR.o 1Wb_>`; 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ;`
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tjbI*Pw7( %ql2 XAY 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 l [
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