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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-19
    摘要 Py-}tFr  
    ^Euqy,8}  
    yX|0 R H  
    ##qs{s^ ]  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
    ($Ck5`_MK  
    RJT=K{2x  
    设计任务 eEMU,zCl  
    0?8{q{ o+  
    eh} {\P  
    X2hyxTOp  
    光栅级次分析模块设置 RS[>7-9  
    R3gg{hQ  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 hQ}B?'>  
    JO"-"&>  
    8^6dK  
    x6B_5eF  
    将传输函数转换为结构 q~*>  
    IJV1=/ NJW  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 T_*R^Ukb5  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 \-~TW4dYe  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 H8'_.2vwX  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。       8\@&~&(y:  
    \1b!I)T9  
            
    !`?*zf  
    Kn+m9  
    衍射分束器表面 HCTjFW>C  
    86N"EuH$  
    +Q6}kbDI  
    @ 80Z@Pj  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) eW^_YG%(  
    *P}v82C N  
    vTY+J$N__  
    Km9Y_`?  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 ]Uee!-dZ  
    ?A7_&=J%  
    |VRzIA4M\  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ^+20e3 ~Y  
    ?XNQ_m8f  
    Z:(yX0U,[  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 _@Le MNv  
    例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
    yC]X&1,:z  
    设计与评估结果 uNSbAw3  
    - 相位功能设计 ,3tcti~sZ  
    - 结构设计 ApxGrCu  
    - TEA评价 9dFSppM  
    - FMM评估 k{q4Zz[  
    - 高度标度(公差 T2^0Q9E?  
    Eax^1 |6  
    纯相位传输设计 {2Jn#&Z29  
    -$js5 Gx1  
    #A '|O\RGP  
    u79,+H@ep  
    结构设计 8NRc+@f|m  
    z]Dbca1a`  
     8~>5k  
    |3A/Og  
    进一步分析 u'BuZF  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 |_^A$Hv  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Mr3;B+S  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 (ugB3o  
    LK1 r@  
    t<|S7EqIL  
    ^6E+l#  
    使用TEA进行性能评估 NBUSr}8|  
    7z=zJ4C  
     '9Hah  
    e)WpqaI  
    使用FMM进行性能评估 g{}{gBplnl  
    ^gK8 u]>  
    kt ILKpHt"  
    u ::2c  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 VQQtxHTC3  
    Xo{|m[,  
    ?x|8"*N  
    vIi#M0@N  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 .1[[Y}  
    8Q%rBl.  
    IU8/B+hM~  
    i8\&J.  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 J4Ix\r_  
    *P#okwp  
    d&dp#)._8  
    %)Pn<! L  
    VirtualLab Fusion技术 LvsNU0x  
    ~e ,D`Lv  
    >>ncq$  
    = 2 3H/  
    文档信息 vT#$`M<  
    gRk%ObJGqm  
    ]5+db0  
    Jv|uI1V  
     
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