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摘要 96T.xT>& 'm}K$h(U
RoSh|$JF 5_ -YF~ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 &}@U#w]l i%+cPQ^o 设计任务 I0P)DR B-ReBtN
LOpnPH` ]WR+>)ERb 光栅级次分析模块设置 b>=MG8 ]]`hnzJX 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 KhAj`vOzK xK 9"t;!C&
KRQKL`}} _Sy-&}c+
+ 将传输函数转换为结构 Z0g3> iItM W_9-JM(r 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 \~d|MP}"F: 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 *Uie{^p? 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 I>o+INb: 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ]#P9.c_} (xpj?zlmM
K@Q_q/(%; )(~4fA5j) 衍射分束器表面 3P~I'FQ /~NsHStn
rCi7q]_ _R<eWp 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0b+OB pqN iM+K&\{_h
*gfx'$ <DP_`[+C 光栅级次和可编程光栅分析仪 kmPK |R >B/ jTn5=
X>:@`}bq 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 /uS(Z-@ <h:> :%# k tp<uN~rTgh 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 ,IoPK!5xy 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 W.TZU'% 设计与评估结果 BlUl5mP}> - 相位功能设计 p s=jGh[ - 结构设计 j9Ptd$Uj - TEA评价 =G3O7\KmH - FMM评估 Jaz|b`KDj - 高度标度(公差) /=I&-gxC uSCF;y=1g, 纯相位传输设计 ?rID fEvV Nq6~6Rr
[T#5$J /1
lIV_Z 结构设计 RpPbjz~ Wc [@,
BV,P;T0"D \PU3{_G] 进一步分析 R+k-mbvnt •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0yr=$F(]s •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 o:B?gDM •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 gXN#<g,:^ x4|>HY<p?
$~vy,^ 7_C;- 使用TEA进行性能评估 c=]qUhnH uqwB`<>KJ
',j'Hf z2Sp 使用FMM进行性能评估 $s<,xY 9 ;ZZ%(P=-
<Z5ak4P E6a$c`H@? 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 }YJ(|z"" !]1X0wo\
g*C&Pr3 cnr&%- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 TJFxo?
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Fgq"d7` 9@ 6OR5zXpk 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 f"t\-ux.b 1];rW`Bw
P\\4 w)C 4]9+ VirtualLab Fusion技术 c#sPM!! V_f}Y8>e
nM:e<`r pFi.?|6" 文档信息 wHm{4 F{}mlQg
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