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摘要 KVUub'k ~$hR:I1
B]6Lbp"oo ,t:P 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 p(K^Zc )d2:r 07a 设计任务 1}+b4"7] M^>l>?#rl
&0fV;%N XODp[+xEEt 光栅级次分析模块设置 PsD)]V9%: H4j1yD(d 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 *'\ HG ZX8@/8sv
5HE5$S 69apTx 将传输函数转换为结构 radP%W-U ~tZB1+%) 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 "fUNrhCx 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 6a_U[-a9; 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 MUGoW;}v) 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Q]3]Z/i ~*<`PD O?
99CK [G FK`:eP{ 衍射分束器表面 >Gk<a rK`^A
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w - z {9.UeVz 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) LZ.Xcy u3E =r
`%"x'B`mM ,v#n\LD` 光栅级次和可编程光栅分析仪 Ei\>gXTH1- g j]8/~lr
AO|1m$xf 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 -K H"2q jZ:/d!$S !
Vlx 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 N:'!0|6?x- 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 FQ`1c[M@
设计与评估结果 )N607 Fa- - 相位功能设计 PHY!yc-LjV - 结构设计 @)vQ>R\k< - TEA评价 nZ (wfNk - FMM评估 lSO$Q]!9 - 高度标度(公差) w-xigm>{Z f?ibyoXL 纯相位传输设计 2N]8@a :N"&o(^
'}B"071)< 23`salLclG 结构设计 MPy><J hvNK"^\p
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y Y4swMN8Bq 进一步分析 UnYb}rF#% •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ccPWfy_ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 aNNRw(0/ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 M0\gp@Fe zUZET'Bm9
Kg2Du'WQ^ QjG/H0*mP 使用TEA进行性能评估 A9u>bWIE7 r
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m'BZ G$&jP:2q 使用FMM进行性能评估 LL)t) ",Vx.LV
"::2]3e !Ko> 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Mx`';z8~ B)1(
%N&W_.F6 z=g!mVK5 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 x=Oy 6" b7I0R;Zj
Ak('4j!*}^ *AGf'+j*z 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 $@71 w~y 9&.md,U '
=BE ! US"g>WLwJ VirtualLab Fusion技术
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"-dA\,G j|K;Yi 文档信息 3o?eUwI} >dm9YfQ
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