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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-18
    摘要 x`n$4a'7b  
    -|;{/ s5  
      *R1 m=  
     <QbD ;(%  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 -7E)u  
    q6DuLFatc*  
    建模任务 278:5yC  
    Q@]~O-  
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    T DOOq;+  
    微结构 kT6h}d^/^  
    {8+FxmH  
    8R?X$=$]!.  
     n;&08M5an}  
    ,z<J`n  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： \Ps}1)wT  
     J>_|hg=  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 )CgKZ"  
     r7B.@+QK  
    微结构组件的配置 ;75m 9yGo  
    e4:,W+g,9  
     ='r86vq  
    Gy}WZ9{  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 h-r\ 1{Q1]  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 s<3cvF<  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 sBUK v(U)  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 fny|^F]w  
     u|]{|Ya'%  
    总结-组件… bY` b3  
    ]b5E_/P  
     WX.6|  
    Dp1FX"a)  
    d^uE4F}  
    q!UN<+k\h  
    监测器平面上的衍射图案 K]c|v i_D  
    Qm9r>m6p@N  
     X}jWNN  
    HC1jN8WDY  
    监测器平面上的衍射图案 <'(O0  
    LPuc&8lGWf  
     w3,DsEXu  
    [=3f:>ssm  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 *=G~26*!V  
     W`^euBr7R>  
    高度缩放调制 #B_Em$  
    W^U6O&-K  
     Ltk'`  
    Pv-El+e!  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 v67utISNI  
    Cu2eMUGt  
     ~HW8mly'  
    F7o#KN*.]  
    VirtualLab Fusion技术 5a8[0&hA 2  
    lI,lR  
      3)D'Yx  
    ^)i5.o\  
    文件信息 K!AW8FnHkZ  
    +-%&,>R  
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