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摘要 -cM1]soT
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V`1,s~" q 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 ;~EQS.Qp NS~;{d \
建模任务 I5_HaC >
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 F5Z,Jm i^M 4 P&2Z0 微结构 }=5>h' <
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 Lr:Qc#2 m{/(
3 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： bI55G#1G
IHni1 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 MLu!8dgI
kFv*>>X` 微结构组件的配置 Q$c6l[(g
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Rl[M+Q - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 .9 r YBy - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 +e-F`k - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 c Mgd - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ^_;'9YD
Uj):}xgi' 总结-组件… P.'.KZJ:WD
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 OG/b5U r D].=.?1  ,~1'L6Ri? R}ki% i5| 监测器平面上的衍射图案 tWIs
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 fQJ`&9m*BF ^#H a H 监测器平面上的衍射图案 >fH0>W+!
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u A@"SG ~U0%}Bbh 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 -&Z!b!jN
n#lbfN 4 高度缩放调制 h2ROQKL"B
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 Alxf;[s 2:*15RH3 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 3~~X,ZL
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