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摘要 Jrlc%,pZ {m}B=u
>*A\/Da]j ,)+O.Lf7&. 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 NXDV3MH= WPyd ^Y< 建模任务 KM(U-<<R Zl"h-~31
K)GC&%_$O ?|^1-5l3 微结构 xtU)3I=F% Bd m<<<
{U=za1Ga
#UU}lG Hkx FDU-K 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: $y=sT({VVe
3uRnbO- 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 nngL,-v#F fE)+9! 微结构组件的配置 Yl1@gw7 u
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R|t.wawCo 'ESy>wA{y< - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 n<yV]i$ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 cJ:BEe - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 "DWw1{ 5/ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 : M0LAN )2F:l0g 总结-组件… Cgw# c% ~"EkX
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4 G`|mP:T:o OAw/ 监测器平面上的衍射图案 e5fJN)+a S%&l(=0X
\ox:/-[c\< uK(+WA 监测器平面上的衍射图案 3{CGYd]_u wrsETB
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1[3"| WF-imI:EK 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 @u6#Tvxy[ 9'//_ A, 高度缩放调制 KU33P>a"[k Q'~;RE%T
)IZ$R*Y{ WKxJ`r\ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 =NJb9S&8A ['-ln)96.
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