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摘要 s| p I` mG
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:)#;0o5 coAXYn 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 u%C oo ujV{AF`JfB 建模任务 ?4':~;~ N|DfE{,
8e?/LA%MU uG\~Hxqw7O 微结构 D|q~n)TW5 O|H:
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m D;+/bll7 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: _V$'nz#>e 7Bj,{9^aJ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 f30J8n"k vK!`#W`X 微结构组件的配置 D1rVgM -+ByK#<%
k ]NZ%. \\SQACN - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 `O6#-<> - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 h
/ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 |O(>{GH - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 2Wzx1_D"a |2do8z 总结-组件… gBqDx|G uZ?P{E,K
_*~F1% d g@#he95 } ox&5}&\ _=$~l^Y[ 监测器平面上的衍射图案 )M0`dy{1 jt}Re,
MT/jpx u[)X="-e# 监测器平面上的衍射图案 :$D*ab^^P *duG/?>P
CE3l_[c 8C{&i5kj\E 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 m%L!eR hJM&rM7 高度缩放调制 5az%yS W^iK9|[qp
^(JrOh' |5vcT,A 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 QYbB\Y (m3hD)!+y
G`l\R:Q _s;y0$O VirtualLab Fusion技术 (}b~}X9 XH%pV
eV"%(<{ ?J2{6,}O*. 文件信息 !*v%
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