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摘要 %i5tf;x6i
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>0E3Em<(}l 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 R@~=z5X( Q i+ICgMcd
建模任务 P"f4`q
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 {4eI} p< D6,Ol4 d 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： ^C' {# p "
i5cK5MaD 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 suHi sc*
|.;*,bb|3 微结构组件的配置 ek 1<9" y
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 Y1G/1Z# 2 QjOY1Xze - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 bF'Jm*f - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 L$6W, D - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 u0F{.fe - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 KAg-M#
mJZB@m u? 总结-组件… 'U-8w@\Z
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 .iYp9?t zl<D" eP  $ Y M( NC wOg#J 监测器平面上的衍射图案 L)c] i'W Z
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 B#r"|x# [ XtqhK" f% 监测器平面上的衍射图案 QB3er]y0%
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 i0F6eqe=J 1` GW>ZKv 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 *!pn6OJ"Q}
g@Pq< 高度缩放调制 57KrDxE}
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 5zOC zm w xJoWbn 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 m 48Ab`
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