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摘要 /] ?e^akA
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~R\ $Z 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 @YVla !5O@ &UVqF o
建模任务 QRx9;!~b}
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 gH.$B' e:K'e2 微结构 V+zn`
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 Rp!"c 4&%E?_M 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： oN)I3wO$
;I6C`N 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 cG (%P$
#=72 /[ 微结构组件的配置 3v&Shb?xb;
x VrLoAw
 W )^%/lAh 3m~,6mQ - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 |[ p]])
o - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 {{)pb> E - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 [ {HTGz@( - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 3EH@tlTl
]bbP_n8 总结-组件… 8bf@<VTO _
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?{3i  b ! `6s \= $G94% 监测器平面上的衍射图案 It VVI"-
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 #G fM^sK 8Pva ]Q 监测器平面上的衍射图案 ;Zc0imYL
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 +: Nz_l 1 (Z+n,Hh 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 . yHK
7\ X_%SM % 高度缩放调制 Ft}nG&D
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 ? m9=Me -=n!k^?lK 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 A'"J'q*t
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c VirtualLab Fusion技术 3JD"* <zs
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