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摘要 R$
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36+/MvIT lV^:2I/ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ),B/NZ/- *f;$5B#^ 建模任务 s-Yu(X2
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RxJbQs$Ph hf9i%,J 微结构 27c0wzq kjV>\e
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DGCvH)Q [j@i^B & 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: 1z&"V}y Qfy_@w] 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 2D"my]FnF urx?p^c 微结构组件的配置 86-Rm +,)k@OI
3-:^mRPJ Mpw]dYM - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 W[)HFh(# - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ]3*w3Y!XK - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 sB*dv06b0 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 {%>~
]9E dZ(Z]`L,B 总结-组件… &0Y
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=#9#unvE! RbxQTM_:M @Nh}^D >j V*te8HIe 监测器平面上的衍射图案 iH-,l U
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CT|0KB& Y&=DjKoVh 监测器平面上的衍射图案 9x4z m EmUn&p%hI
&glh >9:G ^C^I 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 UYZC% $5x CXoiA"P 高度缩放调制 (oy@j{G)c6 (_}q>3
DpmAB. )3e_Hs+ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 JLWm9c+UTG Y9#dAI[Gce
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