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摘要 Jw;~ $ Ay?<~)H
O2{["c
e c| ^I} 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 nHdQe h+Co:pr 建模任务 UA6id|G @Z~YFnEJi
>&PM'k 2LtDS?)@ 微结构 _nMd \)~d,M}kK
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=0g!Q |2j, 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: X9m^i2tk H0af u)$, 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 ="voJgvw ,eyh%k*hz 微结构组件的配置 F06o-xH= v76Gwu$d
^^N|:80 +F8{4^w1 - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 QoZV6 - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 <L-F3Buu - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ..)J6L5l - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 [H}>
2Q &u>dKf)5 总结-组件… r:g\
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"2cOS PpQL q?}C`5%D 1rm\ u% Q@W/~~N 监测器平面上的衍射图案 2RkW/)A9 &i5@4,p y9
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0 X4V>qHV72 监测器平面上的衍射图案 Y9)j1~ io4<HN
k1wIb']m]z l_h:S`z. 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 xb;{<~`71 I1<WHq
高度缩放调制 dQ`Tt- n ;st0Ekni)
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N (;{X-c}? 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 [neuwdN LikcW#
UGcmzwE 7ch9Pf VirtualLab Fusion技术 T8^9*]:@c! [dJ!JT/X{
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