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摘要 Lh=~3 vFfvvRda4x
C,C=W]G <`dF~ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 kndP?#>
p1 &77]h%B> 建模任务 D3^[OHi~a _ Ko0
Z2chv,SqCJ 'e6W$?z 微结构 ?KxI|os ArkFC
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;F&wGe t\2myR3 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: $,k SR} &%pB; dk 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 m[^;HwJ {nQ}t
}B 微结构组件的配置 ;{|a~e?Y JxQwxey{
^_<>o[qE 4Uz:zB - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 3&*0n^g - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 )!dELS\ix - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 S&-sl - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 TJY$<: ?Di,' 总结-组件… ,IUMH]D [ hj|8)
~QdwoeaD |PN-,f{ - Rn{q/h $2BRi@ 监测器平面上的衍射图案 7>{edNy!, :0T]p"y4
K! /E0G& \Y9=dE} 监测器平面上的衍射图案 HqgTu` ^OG^%
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Vm8;{S q cXJgdBwo 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 wri[#D { ^
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^y7 高度缩放调制 MC#bo{Bq3- u\qyh9s
v )7d {yyg=AMz 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 D .Cm& ECkfFE`
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