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摘要 sN^3bfi!i
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|sN>/89=/ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 z
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建模任务 SbNs#
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 PiD%PBmUl =&QC&CqEi 微结构 <#U9ih
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 ?dJ-g~ {Mc^[}9 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： =yv_i]9AN
j';V(ZY&BB 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 B+G,v:)R6z
cd36f26`"w 微结构组件的配置 R;9H`L/>
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 KX e/i~AS -LF0% G - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Cx $M - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 kG:,Ff> - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 k r0PL)$ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 0GR\iw$[J
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% 总结-组件… ze!S4&B
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 i{8T 8 s; 'XX}Y  uJz<:/rwZ- N zY} -:{ 监测器平面上的衍射图案 [h
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 BJI}gm2y +u%^YBr 监测器平面上的衍射图案 7XKPC+)1ya
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nE 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 v)| [=
z? $F2+f& 高度缩放调制
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 WVc3C-h, "(y",!U@ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Mq-Q Wx"P
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