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摘要 Lh =~ 3
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<`dF~ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 kndP?#>
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建模任务 D3^[OHi~a
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 Z2chv,SqCJ 'e6 W$?z 微结构 ?KxI|o s
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 ; F&wGe t\2 myR3 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： $ ,k SR}
&%pB; d k 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 m[^;HwJ
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}B 微结构组件的配置 ;{|a~e?Y
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 ^_<>o[qE 4Uz:zB - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 3 &*0n^g - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 )!dELS \ix - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 S&-sl - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 TJY$<:
?Di, ' 总结-组件… , IUMH]D
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 ~Qdwo eaD |PN-,f{ -  R n{ q/h $2BRi@ 监测器平面上的衍射图案 7>{edNy!,
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 K! /E0G& \Y9=d E} 监测器平面上的衍射图案 HqgTu`
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 Vm8;{S q cXJgdBwo 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 wri[#D {
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^y7 高度缩放调制 MC#bo{Bq3-
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 v )7d {yyg= AMz 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 D .C m&
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