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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-18
    摘要 _V& !4Zd9:  
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    Ak6MPuBB-  
    ^`rpf\GX(  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 PEW4J{(W  
    `*NO_ K  
    建模任务 W-z90k4Z5  
    qX5yN| A4  
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    微结构 j2 }  
    dI^IK  
    W|25t)cJ8h  
    <&5m N  
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    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: V uG?B{  
    :reP} Da7q  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 V#0 dGP-Z  
    jg [H}  
    微结构组件的配置 fB~O |g  
    ]*N:;J  
    e Om< !H  
    2W^B{ZS;  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 uf)W-Er6~  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 BXg!zW%+  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 j8GY`f#  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 D|d4:;7  
    *Jvxs R'a1  
    总结-组件 Vb@ 4(Q  
    FR:d^mL  
    kE/`n],1U  
    Y1{B c<tC  
    ]^=|Zd-  
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    监测器平面上的衍射图案 4YszVT-MU~  
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    ?Z q_9T7  
    监测器平面上的衍射图案 kdp% !S%2  
    pDu{e>S|:  
    <lMg\T?K  
    8-7dokg>  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。  gH %y  
    25:Z;J>  
    高度缩放调制 i+f7  
    A\K,_&x1Z  
    H@{Objh 1  
    aG%kmS&fv  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 EYL]TeS  
    b1u}fp GF  
    [,=d7*b(l  
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    VirtualLab Fusion技术 !tEe\K\e  
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    文件信息 nnNv0 ?>d(  
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