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摘要 _V& !4Zd9: CQSpPQA
Ak6MPuBB- ^`rpf\GX( 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 PEW4J{(W `*NO_K 建模任务 W-z90k4Z5 qX5yN| A4
=naR{pI AfRW=&xdT 微结构 j2} dI^IK
W|25t)cJ8h
<&5m N dn ZzA 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: V uG?B{ :reP} Da7q 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 V#0
dGP-Z jg
[H} 微结构组件的配置 fB~O
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eOm< !H 2W^B{ZS; - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 uf)W-Er6~ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 BXg!zW%+ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 j8GY`f# - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 D|d4:;7 *Jvxs
R'a1 总结-组件… Vb@4(Q FR:d^mL
kE/`n],1U Y1{B c<tC ]^=|Zd- i"vawxm 监测器平面上的衍射图案 4YszVT-MU~ ;%' b;+
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u ?Z q_9T7 监测器平面上的衍射图案 kdp%
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<lMg\T?K 8-7dokg> 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 gH %y 25:Z;J> 高度缩放调制 i+f7 A\K,_&x1Z
H@{Objh1 aG%kmS&fv 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 EYL]TeS b1u}fp
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[,=d7*b(l /aZE,IeEz VirtualLab Fusion技术 !tEe\K\e WsR+Np@c
?"6Ov ] iq?l#}] 文件信息 nnNv0?>d( t<nFy
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