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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-18
    摘要 aKC,{}f$m  
    =gQ^,x0R9  
     ~NG+DyGa=  
     LGT?/ gup  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 Lf+"Gp  
    'e:(61_  
    建模任务 ?3a:ntX h  
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    ]'5 G/H5?;  
    微结构 /M Z^;XG  
    Q?/qQ}nNw  
    "WZ|   
     7mtX/w9  
    M$UZn  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： a9y+FCA  
     AH?4F"  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 B/Z-Cpz]  
     ?tx."MZ  
    微结构组件的配置 1:22y:^j  
    AA<QI'6  
     cV:Ak~PKl  
    ?@CbaX~+K  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 C1o^$Q|j  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 Fx )BMP  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 M.\V/OX  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 OTzuOP 8  
     3@\J#mR  
    总结-组件… R*DQLBWc  
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    监测器平面上的衍射图案 ;b!qt-;.<  
    .I.B,wH8  
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    监测器平面上的衍射图案 ZdgzPs"  
    Q) =LbR{#  
     Vrs?VA`v$  
    (D0\uld9  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 1$H<Kjsm  
     U=PTn(2  
    高度缩放调制 yt<h!k$ _P  
    GglGFXOL-  
     G`RQl@W>)(  
    bE?X?[K  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 f$ 7C 5  
    7 j6<  
     us+z8Mz  
    b8E7/~<z3  
    VirtualLab Fusion技术 )+|Y;zC9  
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    -5JN`  
    文件信息 _!,Ees=b  
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