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摘要 MPG+B/P& |Gc&1*$
p">WK<N O3xz|&xY& 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 3_U\VGm D;C5,rNt 建模任务 am(#Fa U,HS;wo;t
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E 微结构 '\'7yN' Cz[5Ug'V
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kY0 \V 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: 4w9F+*- E6Q91Wz9f 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 ]!-R<[b
6 v?{vg?vI 微结构组件的配置 APOea U,d2DAvt
|i s 9 iz(m3k:w - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ,i;9[4QMX - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 8_Jj+ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 BArJ"t*/z - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 GJ>ypEWo !,R 总结-组件…
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_8zjj7 13\Sh 9Mnem* k|fh\F+$ 监测器平面上的衍射图案 qb9}&'@: VrudR#q
qjzZ} z(jU|va{_1 监测器平面上的衍射图案 _3I3AG0e EO"=\C,
2-P I JO Lq%[A*`^ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 M$#+W?m& >*Sv0# 高度缩放调制 ;+r0
O0;9 e5FCqNip'
ZIDFF Fu#Y7)r 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 1RmBtx\< 1XQ87~
QZWoKGd}+ $`ON!,oa VirtualLab Fusion技术 RLv&,$$0 Cx$9#3\
$B*qNYpPy. p$B)^S%0i 文件信息 nIG[{gGX R,uJK)m
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