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摘要 6B#('gxO
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Vo,[EVL 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 # :#M{1I g<$. - g
建模任务 i^*M^P3m
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 jv =EheD y;nvR6) 微结构 QdDObqVdy
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 /v|O nq1Y4 6\4Z\82 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： |O-`5_z$r
o'Wz*oY))\ 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 Stxp3\j En
=q+R
微结构组件的配置 BFWi(5 8q
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 TQf L%JT ^gOww6$ < - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 U \j b" - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 d v~pddOs - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 M+poB+K. - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 s\gp5MT
R4{-Qv#8
q 总结-组件… jvHFFSK
iA' As%S1
 cJDd0(tD ! XA<ozq'  H(|AH;?ou !`&\Lx_ 监测器平面上的衍射图案 \\:|Odd
-\#lF?fzb
 L0Y0&;y|R 2q PhLCe Z 监测器平面上的衍射图案 E!J=8C.:
[A5W+pDm
 4w4 ^yQE m\ S\3n 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 7Xg?U'X
M;jcUX_ { 高度缩放调制 d'"r("w#
Gb2L }
 5u$ D/*
Eb z.oU4c 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 |=6_ xRyr
HYCuK48F[_
 @gY\;[#. 8(f:U@BS VirtualLab Fusion技术 6na^]t~ncm
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 ""% A'TZ v.&>Ih/L 文件信息 -Z0+oU(?YE
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