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摘要 Z7 f~|}
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V2y[IeS Q 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 H{ }6`;W ' 5Ieqpm9
建模任务 # / 4Wcz<
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 cbteNA!> s =d?}.E$ 微结构 L*l( ~t)vF
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 [ Dt\E4 @%TQ/L^| 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： \vT8
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dKMuo'H'% 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 bHMlh^{`%
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gPe 微结构组件的配置 "d#s|_n,d)
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 >2 |#b NMDNls&)k - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Y.73I83-j - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 eGE%c1H9a - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 |'J3"am' - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 c shUxabB
ysa"f+/ 总结-组件… u)V* o
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 P` `hw=L fg9sZ%67]\  OYzJE@r^ A1@-;/H3 监测器平面上的衍射图案 z=xHk |+'
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 &l.^UQ q[#\qT&QU 监测器平面上的衍射图案 $ -y+97
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;lG IQ_0[ 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。
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:@/fy}! 高度缩放调制 8fN0"pymo
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 }n.h)Oz YO Y+z\Q 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 }J*&()`
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