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摘要 ?! 6Itkg
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$` 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 JHt
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建模任务 e12QYoh
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 =I @t%Y E)gD"^rex 微结构 !}#> ky!t
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 .4)oZ {;c'@U 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： :aej.>I0
{_-kwg{"( 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 jTvcKm|q
>8>!wi9U 微结构组件的配置 Cp6 S2v I
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/VCjuV - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 '|[V}K5m/f - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 , ~O>8VbF - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ;7QXs 39S - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 fY[Fwjj3
,,gMUpL7_8 总结-组件… G?1GkR
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 Mw/9DrE7/ IR6 W'vA  c\{N:S> &v{#yzM 监测器平面上的衍射图案 $^ee~v;m4
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p~;3 监测器平面上的衍射图案 )S g6B;CJ
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 hv|a8=U!R ""0 Y^M2I 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 QxYm3x5
$r/ $aq=K 高度缩放调制 u 2 s
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 4v\HaOk ,|:.0g[n 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 8t x*z"2S
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 .~f )4'T 9 ~~W.]>f VirtualLab Fusion技术 %Jt35j@Ee
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 :?6HG_9X .xJ54Vz 文件信息 IA2V esHb
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