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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-18
    摘要 j@JhxCe1+R  
    ^E)Kse.>  
     YbMeSU/sX  
     y"|QY!fK  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 $=7'Cm ?  
    SF$]{ X  
    建模任务 %J*z!Fe8s  
    ;#3l&HRKH1  
     E0;KTcZi  
    o gcEv>0  
    微结构 N5 BC<pu  
    ohK_~  
    LX%K*nlj  
     =B}a +0u!  
    8PQn=k9  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： GpjyF_L  
     MXS N <  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 |5uvmK  
     EXlmIY4  
    微结构组件的配置 C2WWS(zn  
    m5O;aj* i  
     q[6tvPfkX  
    w2-:!,X  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ^/|agQ7D2  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 TU6e,G|t  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 X^!n'$^u  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 hdL/zW7]  
     l(-We.:(  
    总结-组件… #) eI]  
    #cB=] (N  
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    ?2hS<qXX  
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     U 6((  
    监测器平面上的衍射图案 VR86ok  
    #6<  X  
     6jv_j[[  
    9"KO!w  
    监测器平面上的衍射图案 \;al@yC=T  
    !N\<QRb\q  
     bSOxM /N  
    %4F Q~  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Tr}z&efY  
     =o N(1k^  
    高度缩放调制 v'R{lXE  
    ?xftr(  
     A 1b</2  
    W'aZw9  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 'r&az BO  
    \!!qzrq  
     XJx$HM&0M  
    r57&F`{  
    VirtualLab Fusion技术 "gm[q."n<  
    _|f1q  
     :O`7kZ]=n  
    4o+SSS  
    文件信息 l@;UwnI  
    IM.sW'E  
     Wo&WO e  
     
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