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摘要 !7bw5H uX/$CM
8~lIe:F- @f+8%I3D 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 fBn"kr; hU]HTX'R 建模任务 DQ#H,\^< YevyN\,}V!
~[WF_NU1y gi/@j 微结构 N==ZtKj F xo}b=
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Kv'n:z7Md IP`6bMd 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: ;22l"-F eN?Y7 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 7uorQfR? &3F}6W6A 微结构组件的配置 ^9OUzTF 1n5(S<T
>T2LEW ,#FLM` - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 '>$EOg" - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 i,A#&YDl - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Zn=T#o - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 VGHWNMT 2~[@_ 总结-组件… v~3B:k:?l vu!d)Fy
tM-^<V& n+@F`]Ke fj7|D'c ]M/9#mD9~ 监测器平面上的衍射图案 d)cOhZy O%g$9-?F0
" 96yp4v@ SK1!thQy 监测器平面上的衍射图案 Y2B&go bNFLO
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*<N3_tx" ;6@r-r 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 V.ht,
~l "mL++>ZSQ 高度缩放调制 2!&&|Mh} HEL!GC>#
f/WQ[\<!I b" xmqWa 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 MMB@.W X[#zCM
+^*iZ6{+7 lo%;aK VirtualLab Fusion技术 PH"hn] (feTk72XX
XwV'Ha G?f\>QSZ 文件信息 Kvsh s9dO,FMs0t
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